面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振子型分子間相互作用センサへの応用
面内取向六边形薄膜的制备及其在横波模式谐振器型分子间相互作用传感器中的应用
基本信息
- 批准号:07J01857
- 负责人:
- 金额:$ 1.41万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
- 财政年份:2007
- 资助国家:日本
- 起止时间:2007 至 2008
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
[センサ用材料の合成と圧電性能]ZnOと同じ六方晶系ウルツ型構造を有するAlN膜は耐薬品性に優れているためセンサ用材料に適している。本研究ではイオンビームスパッタ法を用いることで、初めて面内配向AlN膜の合成に成功した。さらに得られた薄膜と比較するために、AlN単結晶のセンサ感度関連物理定数をBrillouin散乱法により測定した。これによりAlN単結晶のバルク横波に関する電気⇔機械変換効率(k_<15>定数)を逆解析なしに決定した。AlN単結晶のk_<15>は0.10でZnOのk_<15>=0.26に比べて小さいことが明らかになった。電気⇔機械結合系センサでは、感度の点においてZnOの方が有利であることがわかった。作製されたAlN膜のk_<15>を測定した結果k_<15>=0.03で、AlN単結晶の約30%程度であった。[センサ安定性関連物理定数の測定]横波モード単結晶板共振子を作製し、AlN単結晶の横波に関する温度係数(TCF)を決定した。AlN単結晶のTCFは-20ppm/℃でZnOの-35ppm/℃に比べて小さいことが明らかになった。センサの温度安定性の点ではAlNの方が有利であることがわかった。[センサ材料(ZnO膜)の量産化に関する研究]面内配向ZnO膜の量産化に向けて従来使用していたの3インチ円形陰極ではなく、10インチの矩形陰極を搭載した大型成膜装置を設計し、成膜を行った。この結果、4インチ基板の大部分の領域において同一ウエハ上でc軸が面内に一方向に配向させることに成功した。さらに簡便に面内配向ZnO膜を合成する手法について研究を行い、陽極に直流バイアス電圧を-200V印加することで、大幅な装置の変更なしに面内配向ZnO膜の配向性を改善することができた。これにより面内配向ZnO膜形成のメカニズムの一端が明らかになり、今後さらなる量産化技術の進展が期待できる。
The ZnO film is made of the same hexagonal system as the hexagonal system. The properties of the AlN film are similar to those of the hexagonal system. In this study, the AlN film was successfully synthesized by the in-plane alignment method. The results show that the film is more sensitive than the AlN. The physical number is determined by the Brillouin scatter method. The results of the AlN results show that the mechanical failure rate of the electrical machinery is determined by the reverse analysis. The results of AlN test show that the structure of zinc oxide is 15kg, and that of zinc oxide k _ & lt;15>=0.26 is smaller than that of zinc oxide. The combination of electrical machinery and machinery is of interest and sensitivity. The combination of electronic machinery and machinery is beneficial to the development of ZnO equipment. The AlN film was used to determine the temperature of the AlN film. The results showed that the results of the AlN film were 0.03% and that of AlN was about 30%. The number of temperature (TCF) of shear wave temperature is determined by the number of temperature (TCF). The results of AlN test show that the temperature of TCF-20ppm/-35ppm/-35ppm/ is smaller than that of ZnO-35ppm/. Temperature stability, temperature stability, AlN, temperature stability, temperature stability and temperature stability. [ZnO membrane) Quantification experiment] in-plane alignment of the ZnO film is used to measure the size of the film. The device is designed for large-scale film-forming equipment and the film is formed. The results show that most of the fields of the 4-year-old substrate are in the same direction in the same plane. In-plane alignment of ZnO films in the stool, in-plane alignment of ZnO films, in-plane alignment of ZnO films, in-plane alignment of large-scale devices, and in-plane alignment of high-voltage Incas-200V Incas devices. The in-plane alignment of the ZnO film is very important at one end, and the future development of technology is expected.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Distribution of hydroxyapatite crystallites orientation and longitudinal wave velocity in ring-shaped cortical bone of bovine femur
牛股骨环状皮质骨羟基磷灰石微晶取向和纵波速度分布
- DOI:
- 发表时间:2008
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Y. Yamato;M. Matsukawa;H. Mizukawa;T. Yanagitani;K. Yamazaki;A. Nagano
- 通讯作者:A. Nagano
Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients
具有高准剪切模式机电耦合系数的高取向c轴23°倾斜ZnO薄膜
- DOI:
- 发表时间:2007
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Yanagitani;Masato Kiuchi;A. Tanaka;T. Matsuo
- 通讯作者:T. Matsuo
Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures
(11-20) ZnO 薄膜/石英玻璃基板结构中 SH-SAW 的传播特性
- DOI:
- 发表时间:2007
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:柳谷隆彦;木内正人;A. Tanaka
- 通讯作者:A. Tanaka
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21K18734 - 财政年份:2021
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Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)