权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

簡便な次世代用感光性ポリベンズオキサゾールの開発

简单的下一代光敏聚苯并恶唑的开发

基本信息

批准号：
07J07758
负责人：
小倉知士
金额：
$ 1.73万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至 2009
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07J07758/
关键词：
感光性ポリベンズオキサゾールポリ(0-ヒドロキシアミド)化学増幅型光酸発生剤溶解抑止剤低温環化熱酸発生剤フォトレジスト溶解調整剤ポリ(o-ヒドロキシアミド)フオトレジスト感光性ポリベンゾオキサゾールポリ(ο-ヒドロキシアミド)活性エステルエステル化合成スカンジウムトリフラート 1-ヒドロキシベンゾトリアゾール 2-メルカプトベンゾチアゾール

项目摘要

当年度は、ポリ(0-ヒドロキシアミド)(PHA)の低温環化触媒の検討と感光性ポリベンズオキサゾール(PSPBO)への応用を検討した。低温環化触媒としてスルホン酸類が有用である事を既に見出だしているので、熱分解によりスルホン酸を発生する熱酸発生剤として、イソプロピルトルエンスルホネート(ITS)の合成を行った。ITSを含有したPHAフィルムの環化をFT-IRで測定したところ、250℃までに環化が完了する事が分かり、ITSは低温環化触媒として利用可能であることが分かった。ITSを用いた低温環化可能な化学増幅型PSPBOの検討を行った。PHA(73wt%)、溶解抑止剤として前年度に開発した9,9-ビス(4-tert-ブトキシカルボニルオキシフェニレン)フルオレン(t-BocBHF)(18wt%)、熱酸発生剤であるITS(7.5wt%)、光酸発生剤に(5-プロピルスルホニルオキシイミノ-5H-チオフェン-2-イリデン)-(2-メチルフェニル)アセトニトリル(PTMA)(1.5wt%)をシクロヘキサノンに溶かしPSPBOを調整した。このPSPBOは、高感度(33mJ/cm^2)、高コントラスト(5.1)を示し、接触露光法により線幅3μmの良好なポジ型パターンを得る事が出来た。また、このパターンを250℃で熱処理を行う事でPBOパターンが得られた。ITSは、熱のみでなく酸でも分解することが分かり、PSPBO内では露光部においてPTMAの酸によって酸増殖剤として働き、非常に少ないPTMA添加量でもパターン形成可能であることが分かった。この結果、このPSPBOは透明性に優れ、膜厚10μmの厚膜フィルムにおいて20μmの線幅のパターンを作成できた。以上よりt-Boc BHF、ITSを用いる事で、混ぜるだけで調整可能であり低温環化可能な化学増幅型PSPBOの開発に成功した。

Study on Low Temperature Cyclization Catalysts of Phthalates (PHA) and Application of Photosensitive Phthalates (PSPBO) Low temperature cyclization catalysts are useful for the production of thermal acid. ITS contains PHA and FT-IR for cyclization. It is possible to use ITS as a low-temperature cyclization catalyst. The study of its application in low temperature cyclization and chemical amplitude-increasing PSPBO PHA (73wt%), dissolution inhibition, and development in previous years (4-tert-ブトキシカルボニルオキシフェニレン)フルオレン(t-BocBHF)(18wt%), thermal acid generator ITS (7.5wt%), photoacid generator PTMA (1.5wt%),(5-CHLOROPHORO-5H-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(2-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(3-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(4-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(5-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(5-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(5-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(5-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO),(5-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO-2-CHLOROPHORO) The PSPBO has a high sensitivity (33 mJ/cm^2), a high temperature (5.1), and a good temperature profile (3 μ m). The heat treatment at 250 ℃ was carried out by PBO. Its heat, acid, decomposition, PSPBO light exposure, PTMA acid, decomposition, extremely small PTMA addition, formation of possible. As a result, PSPBO has excellent transparency, a thick film thickness of 10 μ m, and an amplitude of 20 μ m. The development of chemically-amplified PSPBO was successfully carried out by adjusting the possibility of low temperature cyclization of t-Boc BHF and ITS.