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Charge Accumulation Measurement on Dielectric Insulators by Micro/Nano Electro Mechanical Sensors

微纳机电传感器对介电绝缘体电荷积累的测量

基本信息

批准号：
18686024
负责人：
KUMADA Akiko
金额：
$ 19.22万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究においては、ナノ・マイクロ技術を駆使することにより、空間分解能が10μmに達する高分解電荷密度分布測定システムを構築し、従来の手法では測定不可能であった帯電・放電現象の高分解計測を行い、絶縁物の帯電機構および沿面放電進展機構を解明することを目的とした。具体的な測定ターゲットは、(A)GISモデルコーンスペーサの直流帯電現象と(B)厚さ数μmの誘電体上を進展する沿面放電現象とした。(A)については、既存の表面電位計をべースに、分解能としては現状の最高値であるmmオーダの測定システムを開発し、大気圧SF6ガス中におけるGISモデルスペーサ帯電現象を把握した。(B)半導体プロセス技術を活用し、3種類のMEMSセンサを作成した。いずれも分解能はサブミクロンオーダに達する。これらのセンサの特性を測定し、沿面放電測定への適用可能性を検討した。

This study aims to construct a system for measuring the high resolution charge density distribution with spatial resolution energy up to 10μm, and to develop a method for measuring the impossibility of high resolution measurement of electrical discharge phenomena with spatial resolution mechanism and surface discharge mechanism. Specific measurements include: (A)GIS, DC, and (B) surface discharge phenomena on a dielectric layer several microns thick. (A)In addition, existing surface potentiometers can be used to detect and analyze the highest value of the current situation, and the GIS can be used to detect and analyze the current phenomenon. (B)The semiconductor technology is applied to three types of MEMS devices. In the middle of the game, the game can be divided into three parts: This paper discusses the feasibility of measuring the characteristics of the film and the application of the film along the surface.