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Development of a novel etching technique using the atmospheric pressure Plasma for fabrication of solar cells

Development of a novel etching technique using the atmospheric pressure Plasma for fabrication of solar cells
开发一种利用大气压等离子体制造太阳能电池的新型蚀刻技术
批准号：
18740355
负责人：
TATSUYA Sakoda
金额：
$2.29万
依托单位：
University of Miyazaki
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18740355/
关键词：
高効率太陽光発電材料・素子材料加工・処理マイクロ・ナノデバイス沿面放電太陽電池背後電極電極溝エッチング誘電体バリア放電

项目摘要

项目成果

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英文摘要
本研究は、大気圧プラズマを用いた新しい太陽電池の高校率化プロセスの開発として、太陽電池用単結晶シリコン基板表面の低反射率化、及び太陽電池回路内の接触抵抗の向上を目的とした電極溝の作製を実施した。その結果、大気圧下で生成した誘電体バリア放電源による表面処理で、125mm角サイズでほぼ均一な低反射率化処理を実現した。また、沿面放電プラズマを用いた太陽電池表面の電極溝の作製に関する研究では、処理時間3sで溝幅100?m以下の微細な電極溝をマスクレスで作製可能できることを明らかにした。
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会议论文
Selective Etching of Silicon Nitride Film on Single Crystalline Silicon Solar Cell Using Intensive Surface Discharge
利用强表面放电选择性刻蚀单晶硅太阳能电池上的氮化硅薄膜
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： Japanese Journal of Applied Physics 45・5A
影响因子： --
作者： [S. Arakawa, T. Hamada, T. Sakoda, M. Otsubo, Toshiyuki Hamada, N. Ezumi, 江角直道, Shunichi Arakawa, N.Ezumi, Tatsuya Sakoda]
通讯作者： Tatsuya Sakoda
Studies of Condition Required for Formation of Electrode Grooves on Silicon Solar Cell Using Surface Discharge
利用表面放电在硅太阳能电池上形成电极凹槽所需条件的研究
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： 13th Asian Conference on Electrical Discharge
影响因子： --
作者： [S. Arakawa, T. Hamada, T. Sakoda, M. Otsubo, Toshiyuki Hamada, N. Ezumi, 江角直道, Shunichi Arakawa, N.Ezumi, Tatsuya Sakoda, 江角直道, T.Hamada]
通讯作者： T.Hamada
Effects of Back Electrode for Etching of Silicon Nitride Film on Solar Cells Using Surface Discharge
背面电极刻蚀氮化硅薄膜对表面放电太阳能电池的影响
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Proc. of Japan-Korea Joint Symp. on Electrical Discharge and High Voltage Eng No.16B-p5
影响因子： --
作者： [S. Arakawa, T. Hamada, T. Sakoda, M. Otsubo]
通讯作者： M. Otsubo
沿海放電により作製した太陽電池電極溝表面の成分分析
滨海放电产生的太阳能电池电极沟槽表面的成分分析
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [六田朋美, 近藤龍二, 荒川純一, 濱田俊之, 迫田達也, Toshiyuki Hamada, Toshiyuki Hamada, 荒川純一, 六田朋美, 迫田達也, 六田朋美]
通讯作者： 六田朋美
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