非線形分光法に基づくトランジスター構造を対象とした非接触バンドラインナップ決定

基于非线性光谱学的晶体管结构非接触能带排列测定

基本信息

项目摘要

Si/Si02に代表される半導体・絶縁体構造は、電界効果トランジスタの根幹部分であり、その界面物性がデバイス性能に重要となる。表面第二高調波発生法は、反転対象性を持つ系に対して原理的に発生しないことから、物質の表面や界面など異方性を有する部位を非接触かつ非破壊に評価する測定法である。当該測定法を本研究ではZn0やMg0といったワイドギャップ半導体にも応用する。これらは直接半導体であり電流注入により紫外発光を呈する。酸化物オプトエレクトロニクスとSi技術の融合を目指し、Mg0とSiの界面物性を調べることを目的とした。当該ヘテロ構造において第二高調波発生強度の時間応答を検討したところ、秒や分のスケールで変化する成分を見出した。本成分は内部光電効果に伴いSi層からMg0へ電子が移動し、その結果形成された直流電場による高調波発生の増強であると解釈した。時間に依存して増強する成分の励起光強度に対する依存性を求めることで、立ち上がり時定数の逆数が励起強度の3乗則に従っており、電子の遷移は3光子吸収の過程で起きているという根拠を得た。また、Si/Mg0における表面第二高調波の入射偏光依存性から界面における結晶構造の概形と非線形偏光回転を見出した。それらは入射光のエネルギーと酸化物層の膜厚に依存することがわかった。
Si/Si02 に representative さ れ る は semiconductor, never try body structure, electricity industry working fruit ト ラ ン ジ ス タ の root dry part で あ り, そ の interface property が デ バ イ ス performance に important と な る. , the surface of the second wave of high-profile 発 body は planning as sexual を seaborne hold つ department に し seaborne て principle of に 発 raw し な い こ と か ら や, material の surface interface な ど square difference を have す る parts を non-contact か つ not broken 壊 に review 価 す る measurement で あ る. When the measurement を this study で は Zn0 や Mg0 と い っ た ワ イ ド ギ ャ ッ プ semiconductor に も 応 with す る. The direct semiconductor であ current injected into によ ultraviolet emission を presents する. Acidification content オ プ ト エ レ ク ト ロ ニ ク ス と Si technology の fusion を refers し, Mg0 と Si の interface property を adjustable べ る こ と を purpose と し た. When the ヘ テ ロ tectonic に お い て second high-profile wave 発 raw strength の time 応 answer を beg し 検 た と こ ろ, s や の ス ケ ー ル で variations change す る composition を shows し た. This composition は internal photoelectric unseen fruit に with い Si layer か ら Mg0 へ electronic が mobile し, そ の results form さ れ た dc field に よ る high-profile wave 発 raw の raised strong で あ る と solution 釈 し た. Time に dependent し て raised strong す る composition の wound up light intensity に す seaborne る dependency を o め る こ と で, vertical ち が り when destiny の inverse number が wound up strength 3 乗 の is に 従 っ て お り は three photon absorption, electronic の migration 収 の process で up き て い る と い う root 拠 を た. ま た, Si/Mg0 に お け の second high-profile る surface wave incident polarization dependence か ら interface に お け る crystal structure の is shaped と nonlinear polarization back planning を shows し た. The thickness of the <s:1> film of the acidified layer に depends on する する とがわ と った った った った った ギ ギ と と った depending on the thickness of the film.

项目成果

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Combinational synthesis and Optical characterization of alloy and superlattice based on SrTiO_3 and LaAlO_3
SrTiO_3和LaAlO_3合金及超晶格的组合合成及光学表征
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takanari Yasui;Hirokazu Nakanishi;Takayuki Makino;and Yoshihiro Takagi;T.Makino et al.;A.Ohkubo et al.
  • 通讯作者:
    A.Ohkubo et al.
Analysis of time-resolved donor-acceptor pair photoluminescence of N-doped ZuO
N 掺杂 ZuO 的时间分辨供体-受体对光致发光分析
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takanari Yasui;Hirokazu Nakanishi;Takayuki Makino;and Yoshihiro Takagi;T.Makino et al.;A.Ohkubo et al.;T.Makino et al.;A.Ohtomo et al.;T.Makino et al.
  • 通讯作者:
    T.Makino et al.
Direct detection of optically-induced microwave spin precession in Fe(III)halogenates
直接检测卤化铁中光致微波自旋进动
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Y. Takagi;S. Miyazaki;R. Minamihara;T. Makino;K. Fujimoto;J. Yamada;and S. Nakatsuji
  • 通讯作者:
    and S. Nakatsuji
半導体絶縁体構造における表面第2高調波発生に対する内部電界効果
内部电场对半导体绝缘体结构表面二次谐波产生的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takanari Yasui;Hirokazu Nakanishi;Takayuki Makino;and Yoshihiro Takagi;T.Makino et al.;A.Ohkubo et al.;T.Makino et al.;A.Ohtomo et al.;T.Makino et al.;寺澤 功朗 他
  • 通讯作者:
    寺澤 功朗 他
Nanosecond Response Found in Photoexcited Surface Carriers Generated by CoSix Nanoparticles on Si Substrate
Si 基底上 CoSix 纳米粒子产生的光激发表面载流子中发现纳秒响应
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takanari Yasui;Hirokazu Nakanishi;Takayuki Makino;and Yoshihiro Takagi
  • 通讯作者:
    and Yoshihiro Takagi
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

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  • 通讯作者:
    牧野 哲征
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  • 影响因子:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
    牧野 哲征

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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
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    {{ item.doi }}
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    {{ item.publish_year }}
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    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

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{{ showInfoDetail.title }}

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