Development of MEMS tweezers with atomic force sensing function for soft material handling

开发具有原子力传感功能的 MEMS 镊子，用于软材料处理

• 批准号: 19310089
• 负责人: HASHIGUCHI Gen
• 金额: $ 8.49万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19310089/
• 关键词: MEMSピンセット; 柔軟物把持; 自励発振; 原子間力; 櫛歯アクチュエータ; MEMS; ピンセット; 原子間力センシング; 細胞マニピュレーション

柔軟物質を把持するためのMEMSピンセットの開発と細胞把持実験を行った。柔軟物質を把持するために、MEMS振動を利用した原子間力検出機構をMEMSピンセットに付加した。また、細胞等の生体物質との親和性を考慮して、パリレンをプローブに被覆しMEMSピンセットの動作を確認した。さらに、クロレラを用いた細胞マニピュレーション実験を行い、把持力の制御及びクロレラの搬送実験を行った。

Soft material control, MEMS, development, cell control Soft material control, MEMS vibration, atomic force detection mechanism The affinity of biological substances such as cells shall be considered, and the operation of MEMS shall be confirmed. In addition, the control of the power and the transportation of the power are carried out in the middle of the cell

项目成果

AFM tweezers with surface detection, gripping force control system

具有表面检测、夹持力控制系统的 AFM 镊子

• 发表时间: 2008
• 作者: T. Umemoto;K. Ayano;M. Suzuki;M. Yasutake;T. Konno;G. Hashiguchi
• 通讯作者: G. Hashiguchi

プローブ針、カンチレバー及びそれらの製造方法

探针、悬臂及其制造方法

• 发表时间: 2008

SiO_2皮膜の金電極を有するAFMプローブの開発

SiO_2镀金电极AFM探针的研制

• 发表时间: 2008
• 作者: 倉永 大資;細木 真保;橋口 原
• 通讯作者: 橋口 原

外力検知センサ

外力检测传感器

• 发表时间: 2008

Nanotweezers with surface detection and gripping force control system

具有表面检测和夹持力控制系统的纳米镊子

• 发表时间: 2009
• 期刊: Japan Journal of Applied Physics
• 作者: T. Umemoto;K. Ayano;M. Suzuki;M. Yasutake;T. Konno;G. Hashiguchi
• 通讯作者: G. Hashiguchi