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Fabrication of highly ordered nanoporous silicons by direct nanoimprint and their application for Li ion battery anode

Fabrication of highly ordered nanoporous silicons by direct nanoimprint and their application for Li ion battery anode
直接纳米压印制备高度有序的纳米多孔硅及其在锂离子电池负极中的应用
批准号:
19550180
负责人:
NISHIO Kazuyuki
金额:
$3.0万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2007
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2007 至 2008

项目摘要

项目成果

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突起が規則配列したSiC製のモールドを用いたダイレクトナノインプリント, 或いは規則細孔配列を有する陽極酸化ポーラスアルミナをマスクとしたドライエッチングによりSi表面に規則的な窪み配列を形成し, これを電解エッチングすることにより高密度高規則配列のナノポーラスシリコンを形成した. これを電極としてリチウムイオンに基づく充放電特性を測定したところ, 細孔周期200nmに対して, 100nmでは充放電の繰り返しによる細孔径状の歪みが抑えられることがわかった.
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会议论文
Alトンネルエッチングにおけるピット位置精密制御と機能化
铝隧道蚀刻中的精确凹坑位置控制和功能化
DOI: --
发表时间: 2008
期刊:
影响因子: --
作者: [益田秀樹, 福島達郎, 西尾和之]
通讯作者: 西尾和之
DOI: --
发表时间: 2007
期刊:
影响因子: --
作者: [福島達郎, 武田彬史, 西尾和之, 益田秀樹]
通讯作者: 益田秀樹
Fabrication of Ideally Ordered Anodic Porous Alumina with Large Area by Vacuum Deposition of Al onto Mold
模具真空沉积铝制备大面积理想有序阳极多孔氧化铝
DOI: --
发表时间: 2008
期刊: J. Vac. Sci. technol. B 26
影响因子: --
作者: [K.Nishio, T. Yanagishita, S. Hatakeyama, M. Maegawa, and H. Masuda]
通讯作者: and H. Masuda
DOI: --
发表时间: 2008
期刊:
影响因子: --
作者: [K. Nishio, T. Fukushima, and H. Masuda]
通讯作者: and H. Masuda
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    Continuous adhesion and detachment using liquid
    • 批准号:
      16K13654
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额:
      $2.33万
    • 财政年份:
      2016
    • 负责人:
      NISHIO Kazuyuki
    • 依托单位:
    Anodic formation of nanoporous gold film