课题基金 / 基金详情

Study on Micro Diamond Tool with High Accuracy

Study on Micro Diamond Tool with High Accuracy
高精度微型金刚石刀具的研究
批准号：
19560110
负责人：
TAKANO Noboru
金额：
$2.83万
依托单位：
University of Toyama
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560110/
关键词：
極微細加工マイクロダイヤモンド工具高精度化ダイヤモンド工具集束イオンビームシリコンモールドダイヤモンドアレイ工具

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究は、各種の極微細加工用の高精度ダイヤモンド工具の開発とマイクロ・ナノスケール加工への実用化を目的としている。まず、シリコンモールド作製技術と、ダイヤモンドCVD技術を駆使して、高精細のダイヤモンド切れ刃を作製し、それを工具シャンクに高強度で精度よく装着するマイクロ工具作製装置を構築した。また、作製したダイヤモンド工具の切れ刃形状を集束イオンビームにより変化させ、適切な工具形状について検討した。
英文摘要
本研究は、各種の極微細加工用の高精度ダイヤモンド工具の開発とマイクロ・ナノスケール加工への実用化を目的としている。まず、シリコンモールド作製技術と、ダイヤモンドCVD技術を駆使して、高精細のダイヤモンド切れ刃を作製し、それを工具シャンクに高強度で精度よく装着するマイクロ工具作製装置を構築した。また、作製したダイヤモンド工具の切れ刃形状を集束イオンビームにより変化させ、適切な工具形状について検討した。
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会议论文
Study on SPM Aided V-shaped Micro-grooving on Curved Surface by Cantilever for processing
  • 批准号：
    21560113
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $3.0万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    TAKANO Noboru
  • 依托单位：
    University of Toyama
ダイヤモンドマイクロアレイ工具の創成と極微細加工に関する研究
  • 批准号：
    17560094
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.11万
  • 财政年份：
    2005
  • 负责人：
    TAKANO Noboru
  • 依托单位：
    University of Toyama