Sinusoidal wavelength-scanning interferometry for measurement of thickness and surface profiles of thin films
Sinusoidal wavelength-scanning interferometry for measurement of thickness and surface profiles of thin films
用于测量薄膜厚度和表面轮廓的正弦波长扫描干涉仪
批准号：
19560419
负责人：
SASAKI Osami
金额：
$2.91万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
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英文摘要
厚さ0.001mm程度の非常に薄い膜の3次元形状を測定することは、微細構造をもつ電子デバイスの製造において重要なことあるが、容易に測定する方法がなかった。そこで、本研究では、光の波長が時間的に正弦波状に変化するレーザ光源を構築し、この波長走査光源を用いた干渉計で得られる干渉信号をコンピュータ内に取り込み、複雑な反復的演算処理を行うことによって、0.000001mm(ナノメータ)の正確さで膜形状を3次元的に測定することができた。
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会议论文
白色光源による正弦波状波長走査干渉計を用いた薄膜形状計測
使用白光源的正弦波扫描干涉仪进行薄膜形状测量
使用白光源的正弦波扫描干涉仪进行薄膜形状测量
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[上野浩]
通讯作者：
上野浩
Wavelength-scanning interferometry using backpropagation of optical fields for shape measurement of thin plate
利用光场反向传播的波长扫描干涉测量薄板形状
利用光场反向传播的波长扫描干涉测量薄板形状
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[O. Sasaki, Hirot Ashitate, and T. Suzuki]
通讯作者：
and T. Suzuki
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[上野浩, 佐々木修己, 鈴木孝昌, Osami Sasaki]
通讯作者：
Osami Sasaki
Inner surface profile measurement of a cylindrical object by an oblique incidence and multiple-wavelength interferometer
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批准号：21560443
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.0万
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财政年份：2009
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负责人：SASAKI Osami
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依托单位：
Generation of a ruler marking every wavelength and its application to nano measurement by a wavelength-scanning interferometer with double feedback control
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批准号：16560033
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.3万
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财政年份：2004
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负责人：SASAKI Osami
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依托单位：
Three-dimensional tomographic imaging using wavelength-scanning laser and two-wave mixing and its applications to measurements
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批准号：13650458
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$1.79万
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财政年份：2001
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负责人：SASAKI Osami
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依托单位：