Sinusoidal wavelength-scanning interferometry for measurement of thickness and surface profiles of thin films

用于测量薄膜厚度和表面轮廓的正弦波长扫描干涉仪

基本信息

  • 批准号:
    19560419
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.91万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2007
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2007 至 2008
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

厚さ0.001mm程度の非常に薄い膜の3次元形状を測定することは、微細構造をもつ電子デバイスの製造において重要なことあるが、容易に測定する方法がなかった。そこで、本研究では、光の波長が時間的に正弦波状に変化するレーザ光源を構築し、この波長走査光源を用いた干渉計で得られる干渉信号をコンピュータ内に取り込み、複雑な反復的演算処理を行うことによって、0.000001mm(ナノメータ)の正確さで膜形状を3次元的に測定することができた。
The method for measuring the three-dimensional shape of a very thin film with a thickness of 0.001 mm is important for the production of electronic devices with fine structures. In this study, the wavelength of light is changed to sine wave shape according to the time. The wavelength of light is measured by the interference meter. The interference signal is measured by the iterative calculation process. The correct film shape is measured by the wavelength of 0.00001 mm.

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
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会议论文数量(0)
专利数量(0)
白色光源による正弦波状波長走査干渉計を用いた薄膜形状計測
使用白光源的正弦波扫描干涉仪进行薄膜形状测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    上野浩
  • 通讯作者:
    上野浩
Wavelength-scanning interferometry using backpropagation of optical fields for shape measurement of thin plate
利用光场反向传播的波长扫描干涉测量薄板形状
  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    O. Sasaki;Hirot Ashitate;and T. Suzuki
  • 通讯作者:
    and T. Suzuki
Sinusoidal wavelength-scanning interferometers for shape measurements
用于形状测量的正弦波长扫描干涉仪
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    上野浩;佐々木修己;鈴木孝昌;Osami Sasaki
  • 通讯作者:
    Osami Sasaki
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Inner surface profile measurement of a cylindrical object by an oblique incidence and multiple-wavelength interferometer
利用斜入射多波长干涉仪测量圆柱形物体的内表面轮廓
  • 批准号:
    21560443
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 2.91万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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    16560033
  • 财政年份:
    2004
  • 资助金额:
    $ 2.91万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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    13650458
  • 财政年份:
    2001
  • 资助金额:
    $ 2.91万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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