Dual-axis micro friction force miscroscopy pobe for dynamic measurements

用于动态测量的双轴微摩擦力显微镜探针

• 批准号: 20360077
• 负责人: FUKUZAWA Kenji
• 金额: $ 12.4万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20360077/
• 关键词: 走査型プローブ顕微鏡; 摩擦力顕微鏡; トライボロジー; マイクロマシン; プローブ顕微鏡; ナノ計測

Friction force microscopy, a type of scanning probe microscopy, is a core method for measuring micro/nanotribological phenomena. In this study, we succeeded in developing a probe with an electrostatic actuator, which can provide the dynamic measurement and probe position control. In this probe, the lateral and vertical forces are measured without interfering with each other, by detecting the lateral and vertical forces with the double-cantilever and torsion beams, respectively. The electrode part that faces the double-cantilever beam was successfully fabricated by using micromachining techniques, which can provide an electrostatic actuator that drives the probe laterally.

摩擦力显微镜是一种扫描探针显微镜，是测量微/纳米摩擦学现象的核心方法。在本研究中，我们成功地开发了一种具有静电驱动器的探针，它可以提供动态测量和探针位置控制。在这种探头中，横向力和垂直力的测量没有相互干扰，通过检测横向和垂直力的双悬臂梁和扭转梁，分别。利用微机械加工技术成功地制作了面向双悬臂梁的电极部分，该电极部分可以提供一个横向驱动探针的静电驱动器。

项目成果

摩擦力顕微鏡用二軸独立型プローブの摩擦力・鉛直力の検出におけるクロストーク効果

摩擦力显微镜两轴独立探头摩擦力和垂直力检测中的串扰效应

• 发表时间: 2010
• 作者: 雨川洋章;福澤健二;式田光宏;張賀東;伊藤伸太郎
• 通讯作者: 伊藤伸太郎

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測定プローブ, 試料表面測定装置, 及び試料表面測定方法

测量探头、样品表面测量装置以及样品表面测量方法

• 发表时间: 2009

摩擦力顕微鏡用二軸独立検出型マイクロ・メカニカルプローブの高精度化

高精度摩擦力显微镜双轴独立检测型微机械探针

• 发表时间: 2010
• 作者: 福澤健二;雨川洋章;辻弘明;式田光宏;伊藤伸太郎;張賀東
• 通讯作者: 張賀東

測定プローブ,試料表面測定装置,及び試料表面測定方法

测量探头、样品表面测量装置以及样品表面测量方法

• 发表时间: 2010