Surface acoustic wave substrate structure without bulk wave radiation free using reverse proton exchange and its application to low-loss and wide-band filter

反质子交换无体波辐射的声表面波基板结构及其在低损耗宽带滤波器中的应用

• 批准号: 20560293
• 负责人: KAKIO Shoji
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: University of Yamanashi
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560293/
• 关键词: 弾性表面波; LiNbO_3; 逆プロトン交換; 低損失フィルタ; バルク波放射; 弾性表面波フィルタ; 伝搬損失; リーキー表面波

For the development of high-performance surface acoustic wave (SAW) devices, the materials, substrate structures, and SAW modes required to realize high coupling, high stability, low loss, and high frequency have been widely demanded. In this study, it has been found theoretically and experimentally that, by adapting the substrate structure with a reverse-proton-exchanged layer and a buried proton-exchanged layer to a shear-horizontal-type leaky SAW and a longitudinal-type leaky SAW on LiNbO_3, the propagation and resonance properties can be considerably improved.

为了开发高性能的声表面波（SAW）器件，人们对实现高耦合、高稳定性、低损耗和高频率所需的材料、衬底结构和SAW模式有着广泛的需求。本研究从理论和实验上发现，采用具有反向质子交换层和埋置质子交换层的衬底结构，可以使LiNbO_3上的水平剪切型和垂直剪切型漏声表面波的传播和谐振特性得到明显改善。

项目成果

逆プロトン交換LiNbO_3基板上の縦型漏洩弾性表面波の伝搬特性

反质子交换LiNbO_3基底上垂直漏声表面波的传播特性

• 发表时间: 2011
• 作者: 垣尾省司;阿部真也;清水秀徳
• 通讯作者: 清水秀徳

逆プロトン交換LiNbO3基板上の漏洩弾性表面波伝搬特性

反质子交换LiNbO3基底上的泄漏表面声波传播特性

• 发表时间: 2008
• 作者: 垣尾省司;阿部真也;清水秀徳;Hidenori Shimizu;垣尾省司
• 通讯作者: 垣尾省司

Leaky-Surface-Acoustic-Wave Properties on Reverse-Proton-Exchanged LiNbO3

反向质子交换 LiNbO3 的泄漏表面声波特性

• DOI: 10.1143/jjap.48.07gg10
• 发表时间: 2009
• 作者: S. Kakio;H. Shimizu;Y. Nakagawa
• 通讯作者: Y. Nakagawa

Leaky-SAW properties on reverse一proton-exchanged LiNbO3

反向质子交换 LiNbO3 的漏声锯特性

• 发表时间: 2008
• 作者: 垣尾省司;阿部真也;清水秀徳;Hidenori Shimizu
• 通讯作者: Hidenori Shimizu

Theoretical analysis of leaky SAW properties on reverse-proton-exchanged substrate

反质子交换基底上泄漏声表面波特性的理论分析

• 发表时间: 2009
• 作者: 垣尾省司;阿部真也;清水秀徳
• 通讯作者: 清水秀徳