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Research on Nano-scale Servo Control for Atomic Force Microscope and Positioning Stage

Research on Nano-scale Servo Control for Atomic Force Microscope and Positioning Stage
原子力显微镜及定位台纳米级伺服控制研究
批准号：
20686028
负责人：
FUJIMOTO Hiroshi
金额：
$16.22万
依托单位：
Yokohama National University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20686028/
关键词：
制御機器高速高精度位置決め制御ナノスケールサーボ走査プローブ顕微鏡原子間力顕微鏡ナノステージ制御工学超精密位置決め超高速位置決めモーションコントロール

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究的目的是开发实现纳米级伺服系统的高速和高性能的定位控制系统的基础技术。为了促进科学的进步，本文介绍了原子力显微镜中纳米探针的先进控制方法。研究了纳米级多自由度定位平台的设计与制作。
英文摘要
The objective of this study is to develop the fundamental technology to realize nano-scale servo systems with high-speed and high performance positioning control systems. In order to contribute the progress of science, the advanced control method of nano-probe which is utilized in atomic force microscope. We also studied the novel design and fabrication of nano-scale multi-degree-of-freedom positioning stage.
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会议论文
マルチレート制御とむだ時間補償に基づく精密実験ステージのマスタ・スレーブ同期位置制御
基于多速率控制和死区补偿的精密实验台主从同步位置控制
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [徐霖, 日比野陽, 勅使川原正臣, 伴幸雄, 梅野達三, 福本潤也・後藤雄太, 坂田晃一(藤本研大学院生)]
通讯作者： 坂田晃一(藤本研大学院生)
High Speed and High Precision Motion Control for Machine Tools
机床高速高精度运动控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [今井亜希子, 高田暁, 松下敬幸, Hiroshi Fujimoto]
通讯作者： Hiroshi Fujimoto
High-Speed High-Precision Control of Atomic Force Microscope by Surface Topography Learning Observer
表面形貌学习观测器对原子力显微镜的高速高精度控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Takayuki Shiraishi, Hiroshi Fujimoto]
通讯作者： Hiroshi Fujimoto
加減速時の学習型PTCを用いた磁気ディスク装置におけるショートスパンシーク制御
在加速/减速期间使用学习型 PTC 进行磁盘驱动器的短跨度寻道控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [夕部貴史, 高田暁, 遠藤弘之(藤本研学部生)]
通讯作者： 遠藤弘之(藤本研学部生)
共 60 条
    Characterization of cancer-associated adipocytes and evaluation of its role in breast cancer
    Evaluation of tactile perception about Braille, tactile guide map and tactile symbol
    • 批准号：
      22300202
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.32万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      FUJIMOTO Hiroshi
    • 依托单位：
      Waseda University
    Range extension control system of electric vehicle with advanced safety function
    • 批准号：
      22246057
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $30.12万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      FUJIMOTO Hiroshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Development of technologies for older persons and persons with disabilities-Relationship between aging and tactile perception of human forefinger
    • 批准号：
      19300205
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.07万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      FUJIMOTO Hiroshi
    • 依托单位：
      Waseda University
    海外基金