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Research on Nano-scale Servo Control for Atomic Force Microscope and Positioning Stage

Research on Nano-scale Servo Control for Atomic Force Microscope and Positioning Stage
原子力显微镜及定位台纳米级伺服控制研究
批准号：
20686028
负责人：
FUJIMOTO Hiroshi
金额：
$16.22万
依托单位：
Yokohama National University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20686028/
关键词：
制御機器高速高精度位置決め制御ナノスケールサーボ走査プローブ顕微鏡原子間力顕微鏡ナノステージ制御工学超精密位置決め超高速位置決めモーションコントロール

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The objective of this study is to develop the fundamental technology to realize nano-scale servo systems with high-speed and high performance positioning control systems. In order to contribute the progress of science, the advanced control method of nano-probe which is utilized in atomic force microscope. We also studied the novel design and fabrication of nano-scale multi-degree-of-freedom positioning stage.
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会议论文
High Speed and High Precision Motion Control for Machine Tools
机床高速高精度运动控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [今井亜希子, 高田暁, 松下敬幸, Hiroshi Fujimoto]
通讯作者： Hiroshi Fujimoto
High-Speed High-Precision Control of Atomic Force Microscope by Surface Topography Learning Observer
表面形貌学习观测器对原子力显微镜的高速高精度控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Takayuki Shiraishi, Hiroshi Fujimoto]
通讯作者： Hiroshi Fujimoto
加減速時の学習型PTCを用いた磁気ディスク装置におけるショートスパンシーク制御
在加速/减速期间使用学习型 PTC 进行磁盘驱动器的短跨度寻道控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [夕部貴史, 高田暁, 遠藤弘之(藤本研学部生)]
通讯作者： 遠藤弘之(藤本研学部生)
マルチレート制御とむだ時間補償に基づく精密実験ステージのマスタ・スレーブ同期位置制御
基于多速率控制和死区补偿的精密实验台主从同步位置控制
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [徐霖, 日比野陽, 勅使川原正臣, 伴幸雄, 梅野達三, 福本潤也・後藤雄太, 坂田晃一(藤本研大学院生)]
通讯作者： 坂田晃一(藤本研大学院生)
共 60 条
    Characterization of cancer-associated adipocytes and evaluation of its role in breast cancer
    Evaluation of tactile perception about Braille, tactile guide map and tactile symbol
    • 批准号：
      22300202
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.32万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      FUJIMOTO Hiroshi
    • 依托单位：
      Waseda University
    Range extension control system of electric vehicle with advanced safety function
    • 批准号：
      22246057
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $30.12万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      FUJIMOTO Hiroshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Development of technologies for older persons and persons with disabilities-Relationship between aging and tactile perception of human forefinger
    • 批准号：
      19300205
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.07万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      FUJIMOTO Hiroshi
    • 依托单位：
      Waseda University
    海外基金