Nano measuring technique (A02)

Im Teilprojekt A2 Sollen Die Sensenschaftlichen Grundlagen für Interferenzoptische Längenund WinkelMesssystem e Sowie für Optische，Taktitil and Rastersonden-Mikrotagie Grundterentwickelt Wickelt.他说：“我们用的是一台微型干涉仪。”在Hinblick auf wichtige Messtechnische参数，即Messauflösungen bis 0，01 nm，Messbereiche bis 450 mm，Reproduzierbarkeit&lt；0，3 nm and Synchronität der Messachsen&lt；0，2 ns，auzuloten的情况下，Sind die sind sind möglichen Grizbereiche der Nanomesstechnik im Hinblick auf wichtige Messtechnische参数。

Im Teilprojekt A2 sollen die wissenschaftlichen Grundlagen für interferenzoptische Längenund Winkelmesssysteme sowie für optische, taktile und Rastersonden-Mikrotastsysteme grundlegend weiterentwickelt werden. Die Schwerpunkte liegen in der Erforschung hochgenauer und hochstabiler miniaturisierter einstrahliger lichtwellenleitergekoppelter Planspiegel-Interferometer. Es sind die wissenschaftlich-technisch möglichen Grenzbereiche der Nanomesstechnik im Hinblick auf wichtige messtechnische Parameter, wie Messauflösungen bis 0,01 nm, Messbereiche bis 450 mm, Reproduzierbarkeit < 0,3 nm und Synchronität der Messachsen < 0,2 ns, auszuloten.