Modellgestützte Analyse und Optimierung des dynamischen Verhaltens von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Dynamik von NPM-Maschinen) (B01)

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Das Teilprojekt B1 fokussiert sich auf die Realisierung von hochpräzisen Bewegungen in einem Bereich bis zu 450x450x80 mm³ mit einer Genauigkeit im nm-Bereich. Für die Entwicklung von Demonstratoren wurden mehrkörperdynamische Modelle computergestützt untersucht. Die Bewertung der Ergebnisse sowie die Modellanpassung mit dem Ziel einer Optimierung des Gesamtsystems erfolgten durch experimentelle Untersuchungen. Die zukünftigen Schwerpunkte liegen im Aufzeigen der aus mechanischer Sicht existierenden Grenzbereiche in der Dynamik für Posi­tioniervorgänge und der Untersuchung verkoppelter Positioniersysteme (modulare Strukturen) mit dem Ziel der Realisierung störungstoleranter Systeme.