Modellgestützte Analyse und Optimierung des dynamischen Verhaltens von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Dynamik von NPM-Maschinen) (B01)

纳米定位和纳米测量机动态行为的基于模型的分析和优化（NPM 机动力学）(B01)

• 批准号: 5378635
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Technische Mechanik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Collaborative Research Centres
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5378635?language=en
• 关键词: Modellgest; tzte; Analyse; und; Optimierung

Das Teilprojekt B1 fokussiert sich auf die Realisierung von hochpräzisen Bewegungen in einem Bereich bis zu 450x450x80 mm³ mit einer Genauigkeit im nm-Bereich. Für die Entwicklung von Demonstratoren wurden mehrkörperdynamische Modelle computergestützt untersucht. Die Bewertung der Ergebnisse sowie die Modellanpassung mit dem Ziel einer Optimierung des Gesamtsystems erfolgten durch experimentelle Untersuchungen. Die zukünftigen Schwerpunkte liegen im Aufzeigen der aus mechanischer Sicht existierenden Grenzbereiche in der Dynamik für Posi­tioniervorgänge und der Untersuchung verkoppelter Positioniersysteme (modulare Strukturen) mit dem Ziel der Realisierung störungstoleranter Systeme.

Das Teilprojekt B1 fokussiert sauf die Realisierung von hochpräzisen Bewegungen in einem Bereich is zu 450x450x80 mm³mit Genauigkeit in nm-Bereich。[4] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]在此基础上，建立了一种基于模型的优化系统，并在此基础上进行了实验研究。Die zuk<s:1> nftigen Schwerpunkte liegen in Aufzeigen der Aufzeigen der Aufzeigen der Aufzeigen der Aufzeigen der Aufzeigen der mechanischer Sicht exististienden grenzereiche in der Dynamik f<e:2> Posi-tioniervorgänge and der Untersuchung verkoppelter position Systeme (modulare Strukturen) mit of Ziel der Realisierung störungstoleranter Systeme。