Design- and knowledge-based inspection planning for the quality assurance of micro- and nano-scaled components (C05)

基于设计和知识的检测计划，用于微米级和纳米级组件的质量保证（C05）

• 批准号: 5378791
• 金额: --
• 依托单位: Fachgebiet Qualitätssicherung und Industrielle Bildverarbeitung
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Collaborative Research Centres
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5378791?language=en
• 关键词: Design; knowledge; based; inspection; planning

Für die Qualitätsprüfung mit Nanomessmaschinen an mikro- und nanostrukturierten Bauteilen werden aufgrund der außerordentlichen Größenverhältnisse zwischen Messgenauigkeit und Messbereich, die der Detektion eines Sandkorns mit einem Durchmesser von 100 μm in einem Gebiet bis zu 450 km x 450 km x 80 km entsprechen, besondere Anforderungen an eine entwurfs- und wissensbasierte Prüfplanerstellung gestellt. Die Arbeiten des Teilprojektes C5 haben das Ziel, grundlegende Konzeptionen zur Prüfplanung, automatisierten Sensorauswahl und Messablaufsteuerung, die speziell auf die Nanopositionier- und Messmaschine abgestimmt sind, zu erforschen.

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