Design- and knowledge-based inspection planning for the quality assurance of micro- and nano-scaled components (C05)

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Für die Qualitätsprüfung mit Nanomessmaschinen an mikro- und nanostrukturierten Bauteilen werden aufgrund der außerordentlichen Größenverhältnisse zwischen Messgenauigkeit und Messbereich, die der Detektion eines Sandkorns mit einem Durchmesser von 100 μm in einem Gebiet bis zu 450 km x 450 km x 80 km entsprechen, besondere Anforderungen an eine entwurfs- und wissensbasierte Prüfplanerstellung gestellt. Die Arbeiten des Teilprojektes C5 haben das Ziel, grundlegende Konzeptionen zur Prüfplanung, automatisierten Sensorauswahl und Messablaufsteuerung, die speziell auf die Nanopositionier- und Messmaschine abgestimmt sind, zu erforschen.