Beeinflussung der Kohlenstoffdiffusion bei der Kombinationsbehandlung Aufkohlung, CVD-Beschichtung und Gasabschreckung

渗碳、CVD涂层和气淬联合处理中碳扩散的影响

基本信息

项目摘要

Die Kombinationsbehandlung bestehend aus Unterdruckaufkohlung + CVD-Hartstoff-Beschichtung + Gasabschreckung ist ein geeigenetes Verfahren, um den Widerstand gegen überlagerte mechanische Beanspruchung und Verschleißbeanspruchung der Schicht/Stahlsubstrat-Verbunde im Vergleich zu den herkömmlichen Behandlungsverfahren deutlich zu erhöhen. Durch den Einsatz der Hochtemperatur CVD-Beschichtung kommt es aber während des Beschichtungsprozesses zu einer verstärkten Kohlenstoffdiffuison ins Werkstückinnere, die die unabhängige Wahl von Randkohlenstoffgehalt und Aufkohlungstiefe einschränkt. Zudem wurde eine verstärkte Kohlenstoffdifussion zwischen Substrat und Schicht beobachtet, die zu Defekten im Interfacebereich der Stahlsubstrate führen kann. Im weiteren Vorhabensverlauf soll daher der Beschichtungsprozeß folgendermaßen modifiziert werden: Der Beschichtungsprozeß innerhalb der Kombinationsbehandlung soll durch eine Plasma CVD-Beschichtung realisiert werden, deren große Flexibilität in der Wahl der Beschichtungstemperatur nicht nur die Vermeidung der oben erwähnten Effekte verspricht, sondern zugleich neue Alternativen in der Prozeßführung der Kombinationsbehandlung eröffnet. Zudem soll durch eine Änderung der Beschichtungsatmosphäre bei der HT-CVD Beschichtung die Neigung zur Kohlenstoffdiffusion zwischen Substrat und Schicht eingeschränkt werden.
Unterdruckaufkohlung + CVD-Hartstoff-Beschichtung + Gasabschreckung的组合处理是一种典型的处理方法,该方法在德国广泛使用,在德国的处理方法中使用Schicht/Stahlsubstrat-Verbunde的Beanspruchung和Verschleißbeanspruchung。高温CVD-Beschichtung kommt的降低是通过Beschichtungsprozesses zu iner verstärkten Kohlenstoffdiffuison in Werkstückinnere,die die unabhängige Wahl von Randkohlenstoffgehalt und Aufkohlungstiefe einschränkt. Zudem wurde eine verstärkte Kohlenstoffdifussion zwischen Substrat und Schicht beobachtet,die zu Defekten im Interfacebreich der Stahlsubstrate führen kann. Im weiteren Vorhabensverlauf soll daher der Beschichtungsprozeolfogendermaßen modifiziert韦尔登:Der Beschichtungsprozeollen innerhalb der Combinationsbehandlung soll durch eine Plasma CVD-Beschichtung realisiert韦尔登,deren große alternität in der Wahl der Beschichtungstemperatur nicht努尔die Vermeidung der oben erwähnten Effekte verspricht,sondern zugleich neue Alternativen in der Prozeßführung der Combinationsbehandlung eröffnet.在HT-CVD工艺中,通过对气氛进行调节,可以使衬底和表面韦尔登之间的相互扩散得到改善。

项目成果

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