Neuartiges UV-lasergestütztes Verfahren zur Prozeßkettenverkürzung bei der Herstellung von integriert-optischen Lichtwellenleiter-Komponenten auf Polymerbasis

物理技术与物理技术的结合与应用研究与应用技术的结合与应用技术的结合与应用技术的结合与应用技术的结合与应用技术的结合与应用技术的结合与应用；[3]紫外光激光，光化学，光化学，光化学，光催化，光催化，光催化，光催化，光催化，光催化。Die physikalische Fragestellung bestdarin, wie sich mittels der Prozeßparameter das brechungsindexprofile in der bestrahlten Zone reduponenten einstein läßt, dasplanare, integrergeroptische basi - komponenten einstein z.B. Lichtwellenleiter oder Verzweiger mit optimalen optischen und funktionellen Eigenschaften (Dämpfung, Modenausbildung usw.) in einem Chip aus einem neutigen fluororiten Polymer erzeeugt werden können。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]大贝公司在聚合物芯片上研制了紫外激光辐照烧蚀技术，并研制了钝化光速仪和集成光速仪。zweke werden Untersuchungen zur geometrischen Form und zur Oberflächenmorphologie der abilationsgrube durchgefhrt mit Ziel, die Dämpfungsverluste and der Kopplungsstelle Zu minimieren。Der Herstellungsprozeß ist zu optimieren and einige einfacter - oppontische - component - integrerter - chip - faster - kopplung - solenzeugt werden。

Gesamtziel des Projektes ist die Erarbeitung der physikalischtechnischen und technologischen Grundlagen für ein neuartiges, prozeßkettenverkürztes Verfahren zur UV-lasergestützten Herstellung von planaren, integriert-optischen Komponenten auf Polymerbasis z.B. für die optische Sensortechnik. Zur Herstellung solcher Komponenten soll ein UV-lasergestützter Prozeß zur lokalen, photochemischen Modifizierung des Brechungsindex von Polymeren eingesetzt werden. Die physikalisch-technische Fragestellung besteht darin, wie sich mittels der Prozeßparameter das Brechungsindexprofil in der bestrahlten Zone reproduzierbar so einstellen läßt, daß planare, integriert-optische Basis-Komponenten wie z.B. Lichtwellenleiter oder Verzweiger mit optimalen optischen und funktionellen Eigenschaften (Dämpfung, Modenausbildung usw.) in einem Chip aus einem neuartigen fluorierten Polymer erzeugt werden können. Im Sinne einer weiteren Miniaturisierung und Prozeßkettenverkürzung soll mit Hilfe derselben UV-Belichtungsanlage in möglichst einem Arbeitsgang eine verlustarme Kopplung zwischen diesem Polymerchip und einer Lichtleitfaser realisiert,werden. Dabei soll durch UV-Laserstrahlung eine Ablationsnut im Polymerchip erzeugt werden, welche zur passiven Justage der Faser an den integriert-optischen Lichtwellenleiter dient. Zu diesem Zwecke werden Untersuchungen zur geometrischen Form und zur Oberflächenmorphologie der Ablationsgrube durchgeführt mit dem Ziel, die Dämpfungsverluste an der Kopplungsstelle zu minimieren. Der Herstellungsprozeß ist zu optimieren und einige einfache integriert-optische Komponenten mit integrierter Chip-Faser-Kopplung sollen erzeugt werden.