Micro/Nanoformability and properties of metallic materials for MEMS

MEMS金属材料的微/纳米成形性和性能

• 批准号: 21360355
• 负责人: SAOTOME Yasunori
• 金额: $ 4.66万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360355/
• 关键词: 金属ガラス; アモルファス; ナノ成形加工; ナノインプリント; MEMS; 材料加工; 材料加工・熱処理; 塑性加工; 結晶化; TTT曲線; DSC; 赤外線幅射加熱; ガラス遷移

Silicon has been generally used to fabricate MEMS. On the other hand, high performance micro-machines(MEMS)should be realized by use of high strength and functional metallic materials. Since, new metallic glass(glassy alloy, amorphous structured materials)was developed in the present study. The material exhibits Elinvar characteristic. From the aspect of micro-forming of metallic glasses, highly efficient and high throughput micro-forming method was developed and superior material properties were proved in this study

硅通常用于制造MEMS。另一方面，高性能的微机械（MEMS）必须通过使用高强度和功能的金属材料来实现。近年来，新的金属玻璃（玻璃合金、非晶结构材料）被开发出来。该材料具有弹性模量特性。本研究从金属玻璃微成形的角度出发，发展了一种高效、高产量的微成形方法，并证明了其上级的材料性能

项目成果

LowViscosity Behavior of Zr-based Metallic Glass under Rapid Heating and Its Application to High Strain Rate Superplastic Nanoforming

锆基金属玻璃快速加热下的低粘度行为及其在高应变率超塑性纳米成形中的应用

• 发表时间: 2011
• 作者: Y.Saotome ;K.Amiya ;A.Inoue
• 通讯作者: A.Inoue

Low Viscosity Behavior of Zr-based Metallic Glass under Rapid Heating and Its Application to High Strain Rate Superplastic Nanoforming、Int

锆基金属玻璃快速加热下的低粘度行为及其在高应变率超塑性纳米成型中的应用，Int

• 发表时间: 2011
• 作者: Y. Saotome;K. Amiya;A. Inoue
• 通讯作者: A. Inoue

Nanoimprint of Pt-based Metallic Glass with dies of Periodic Structure of 25 nm in Pitch Fabricated by FIB-CVD & RIE

FIB-CVD 制备间距 25 nm 周期结构模具的 Pt 基金属玻璃纳米压印

• 发表时间: 2010
• 作者: Y.Fukuda;Y.Saotome;A.Inoue
• 通讯作者: A.Inoue

FIB-CVD/RIEプロセスによるピッチ25nmドット金型の創製と金属ガラスのナノインプリント

通过 FIB-CVD/RIE 工艺和金属玻璃纳米压印制造 25nm 间距点模具

• 发表时间: 2009
• 作者: 福田泰行;真壁英一;早乙女康典
• 通讯作者: 早乙女康典

金属ガラスの基礎と産業への応用

金属玻璃基础知识和工业应用

• 发表时间: 2009
• 作者: 早乙女康典;他
• 通讯作者: 他