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Study on Negative Aberration Control in Acceleration Lens System

Study on Negative Aberration Control in Acceleration Lens System
加速透镜系统负像差控制研究
批准号：
21760709
负责人：
OHKUBO Takeru
金额：
$2.0万
依托单位：
Japan Atomic Energy Agency
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760709/
关键词：
放射線工学ビーム科学加速器量子ビームイオンビームナノビーム加速レンズ

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项目成果

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The aberration control technology which is effective in reduction of a beam diameter was developed by adding a deceleration lens to an acceleration lens system. The compact lens system to form gaseous ion nanobeam will be a great tool for applications in nanofabrication.
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ガスイオンナノビーム形成装置小型化のための加速管一体型レンズ系開発
气体离子纳米束形成装置小型化加速管集成透镜系统的研制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [T.Yanagida, K.J.Kim, K.Kamada, Y.Yokota, S.Maeo, A.Yoshikawa, N.Kawaguchi, K.Fukuda, N.Sarukura, V.Chani, 大久保猛]
通讯作者： 大久保猛
Theoretical Approach Of The Reduction Of Chromatic And Spherical Aberrations In An Acceleration Lens System For Hundreds Of keV Gaseous Ion Nanobeam
数百keV气态离子纳米束加速透镜系统中减少色差和球差的理论方法
DOI： 10.1063/1.3586083
发表时间： 2011
期刊： AIP Conference Proceedings
影响因子： --
作者： [T. Ohkubo, Y. Ishii and T. Kamiya]
通讯作者： Y. Ishii and T. Kamiya
300kV小型ガスイオンナノビーム形成装置のレンズ系開発
300kV小型气体离子纳米束形成装置透镜系统的研制
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [T.Yanagida, K.Kamada, Y.Yokota, Y.Fujimoto, S.Maeo, A.Yoshikawa, 大久保猛]
通讯作者： 大久保猛
ガスイオンナノビーム形成のための300kV小型装置の構築
300kV小型气体离子纳米束形成装置的构建
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [T.Yanagida, A.Yoshikawa, Y.Yokota, K.Kamada, Y.Usuki, S.Yamamoto, M.Miyake, M.Baba, K.Sasaki, M.Ito, 大久保猛]
通讯作者： 大久保猛
Study on three-dimensional microfabrication using proton beam writing
  • 批准号：
    24760723
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $2.83万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    OHKUBO Takeru
  • 依托单位：
    Japan Atomic Energy Agency