Study on three-dimensional microfabrication using proton beam writing
Study on three-dimensional microfabrication using proton beam writing
质子束写入三维微加工研究
批准号：
24760723
负责人：
OHKUBO Takeru
金额：
$2.83万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2012
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-04-01 至 2015-03-31
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Preliminary study on formation of proton microbeam with continuously variable kinetic energy for 3-Dimensional proton lithography
三维质子光刻用连续可变动能质子微束形成的初步研究
三维质子光刻用连续可变动能质子微束形成的初步研究
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[T. Ohkubo, Y. Ishii and T. Kamiya]
通讯作者：
Y. Ishii and T. Kamiya
300kV小型加速レンズ装置によるエネルギー連続可変ガスイオン集束ビーム
采用300kV小型加速透镜装置的能量连续可变气体离子聚焦束
采用300kV小型加速透镜装置的能量连续可变气体离子聚焦束
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[大久保猛, 石井保行, 神谷富裕]
通讯作者：
神谷富裕
300kV小型加速レンズ装置によるガスイオンビーム集束
采用300kV小型加速透镜装置进行气体离子束聚焦
采用300kV小型加速透镜装置进行气体离子束聚焦
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[大久保猛, 石井保行, 神谷富裕]
通讯作者：
神谷富裕
Preliminary study on development of 300 Kv compact focused gaseous ion beam system
300Kv紧凑型聚焦气体离子束系统研制初步研究
300Kv紧凑型聚焦气体离子束系统研制初步研究
DOI：
10.1063/1.4802353
发表时间：
2013
期刊：
AIP Coference Proceedings
影响因子：
--
作者：
[T. Ohkubo, Y. Ishii, Y. Miyake, and T. Kamiya]
通讯作者：
and T. Kamiya
Proton microbeam formation with continuously variable kinetic energy using a compact system for three-dimensional proton beam writing
使用紧凑的三维质子束写入系统形成具有连续可变动能的质子微束
使用紧凑的三维质子束写入系统形成具有连续可变动能的质子微束
DOI：
10.1063/1.4915319
发表时间：
2015
期刊：
Review of Scientific Instruments
影响因子：
1.6
作者：
[Yasuyuki Ishii, Takeru Ohkubo, Tomihiro Kamiya, Yuichi Saitoh, T. Ohkubo and Y. Ishii]
通讯作者：
T. Ohkubo and Y. Ishii
共 7 条
Study on Negative Aberration Control in Acceleration Lens System
-
批准号：21760709
-
项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.0万
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财政年份：2009
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负责人：OHKUBO Takeru
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依托单位：
海外基金