ナノサイズ流体プロセスを用いた金属直立プラズモニック構造作製法の開発

使用纳米流体工艺开发金属直立等离子体结构的制造方法

基本信息

  • 批准号:
    21656018
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.34万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 财政年份:
    2009
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2009 至 2010
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

超短パルスレーザーを用いてナノサイズの金属流体プロセスを瞬間的に誘起し、金属の直立構造が周期的に配列する構造を形成する。今年度は下記の成果を得た。1.装置の改良:前年度に開発した透過型回折格子と縮小光学系を組み合わせたフェムト秒レーザー干渉加工装置に対し、光束毎に位相・振幅を変調する装置を追加した。2.新規ナノ形状の達成:薄膜材料、膜厚、基板、干渉加工条件などをパラメーターとすることにより、下記の成果を得た。これらにより、(1)~(4)の研究目的を達成し、さらに(5)の新規ナノ形状を創製した(1)曲率半径7.5nmの極小ナノウォータードロップの形成(金)(2)最小頂点曲率半径約2nm(平均値5.4nm)の金ナノウィスカーの形成(3)金ナノウィスカーのアスペクト比:約17(4)最小頂点曲率半径約6nmの銀ナノウィスカーの形成、ナノクラウン周囲のナノスパイク頂点曲率半径:7nm、アスペクト比>5(5)位相・振幅変調による「多重周期構造」「倍密度構造」「周期破線構造」の創製本手法は従来のナノマテリアル形成法に対し、「従来に無いナノ形状」「正確な周期構造の自動生成」「素材の自由度」「加工速度」「大面積一括加工」等の点で優れており、ナノテクノロジーやメタマテリアルなどのナノマテリアル応用分野全般において新しい応用が期待できる。
Ultrashort パ ル ス レ ー ザ ー を with い て ナ ノ サ イ ズ の metal fluid プ ロ セ ス を momentary に induced し, metal の に が cycle with vertical structure column す を る structure form す る. The following is the record of achievements for this year: を and た. Before の improvement: 1. The plant annual に open 発 し た type through the department of inflexion と narrow light grid を group み close わ せ た フ ェ ム ト seconds レ ー ザ ー dry involved processing device に し seaborne, beam in their に phase, amplitude を - adjustable す る device を additional し た. 2. The new rules ナ ノ shape の reached: thin film materials, dry film thickness, substrate, involved processing conditions な ど を パ ラ メ ー タ ー と す る こ と に よ り, remember の results を た. こ れ ら に よ り, (1) - (4) の research purpose を reached し, さ ら に の (5) new rules ナ ノ shape を created し た (1) the curvature radius of 7.5 nm の tiny ナ ノ ウ ォ ー タ ー ド ロ ッ プ の formation (gold) (2) the minimum vertex curvature radius of about 2 nm (5.4 nm) on average numerical の gold ナ ノ ウ ィ ス カ ー の form (3) gold ナ ノ ウ ィ ス カ ー の ア ス ペ ク ト than: about 17 (4) minimum vertex curvature radius of about 6 nm の silver ナ ノ ウ ィ ス カ ー の formation, ナ ノ ク ラ ウ ン weeks 囲 の ナ ノ ス パ イ ク vertex curvature radius: 7 nm, ア ス ペ ク ト than five (5) > phase, amplitude - adjustable に よ る "multiple cycle structure" "times density structure" "cycle break line structure" の created this gimmick は 従 の ナ ノ マ テ リ ア ル formation method に し seaborne, no い "従 に ナ ノ shape" "correct な cycle structure の automatically generated" の degrees of freedom "material" "processing speed" "a large enclosed processing" で の point れ て お り, ナ ノ テ ク ノ ロ ジ ー や メ タ マ テ リ ア ル な ど の ナ ノ マ テ リ ア ル 応 use eset all に お い て new し い 応 with が expect で き る .

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
干渉フェムト秒レーザー加工による10nm以下の超微細構造の形
通过干涉飞秒激光加工形成10nm以下的超微细结构
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    中田芳樹;桃尾一馬;廣本卓也;宮永憲明
  • 通讯作者:
    宮永憲明
金属薄膜の干渉フェムト秒レーザー加工を用いた超微細突起構造の作製
使用金属薄膜干涉飞秒激光加工制造超精细投影结构
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    中田芳樹;廣本拓也;宮永憲明
  • 通讯作者:
    宮永憲明
Effect of interference pattern on femtosecond laser-induced ripple structure
干涉图案对飞秒激光引起的波纹结构的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2009
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    中田芳樹;廣本拓也;宮永憲明;土田邦夫;Yoshiki Nakata・Noriaki Miyanaga
  • 通讯作者:
    Yoshiki Nakata・Noriaki Miyanaga
Nano-structures in array generated in liquid process induced by interfering femtosecond laser processing
干涉飞秒激光加工在液体过程中产生的阵列中的纳米结构
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yoshiki Nakata;Kazuma Momoo;Takuya Hiromoto;Noriaki Miyanaga
  • 通讯作者:
    Noriaki Miyanaga
Liquidly process in femtosecond laser processing
  • DOI:
    10.1016/j.apsusc.2009.04.066
  • 发表时间:
    2009-09-30
  • 期刊:
  • 影响因子:
    6.7
  • 作者:
    Nakata, Yoshiki;Tsuchida, Kunio;Furusho, Hirotoshi
  • 通讯作者:
    Furusho, Hirotoshi
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中田 芳樹其他文献

空間光位相変調器を用いたビーム強度分布の整形
使用空间光学相位调制器对光束强度分布进行整形
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    大澤 一仁;吉田 匡孝;中田 芳樹;宮永 憲明;奈良崎 愛子;東海林 竜也;坪井 泰之
  • 通讯作者:
    坪井 泰之
超短パルスレーザーの6ビーム干渉パターンを用いた金薄膜の加工
超短脉冲激光六光束干涉图样加工金薄膜
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    吉田 匡孝;大澤 一仁;中田 芳樹;宮永 憲明
  • 通讯作者:
    宮永 憲明
レーザー堆積法によりサファイア基板上に製膜したZnOバッファ層の結晶方位とZnOナノワイヤ成長基板としての機能
激光沉积法在蓝宝石衬底上形成ZnO缓冲层的晶向并作为ZnO纳米线生长衬底
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    下垣 哲也;高橋 将大;山崎 正瑛;福田 泰地;東畠三洋;中村 大輔;池上 浩;I. A. Palani;中田 芳樹;N. J. Vasa;岡田 龍雄
  • 通讯作者:
    岡田 龍雄
レーザー誘起ドット転写による微粒子形成
通过激光诱导点转移形成微粒
紫外レーザープロセスを利用したZnO ナノ・マイクロ結晶の作製と評価
紫外激光法制备ZnO纳米/微晶并评价
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    下垣 哲也;川原 裕貴;中尾 しほみ;原田 浩輔;東畠 三洋;池上 浩;中村 大輔;中田 芳樹;岡田 龍雄
  • 通讯作者:
    岡田 龍雄

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  • 通讯作者:
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光渦格子による大規模キラルパターン配列の形成
使用光学涡旋光栅形成大规模手性图案阵列
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Development of tunable and multiple mega optical vortex formation technology
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  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 1.34万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
干渉フェムト秒レーザー加工を用いたナノバンプ形成による表面ナノ構造修飾技術の開発
利用干涉飞秒激光加工形成纳米凸块来开发表面纳米结构改性技术
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  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    $ 1.34万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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    $ 1.34万
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    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

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超短パルスレーザーの時間分解温度測定とパルス幅・フルエンスによる熱影響の制御
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    2023
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  • 资助金额:
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超高強度・超短パルスレーザーを使ったコンパクト中性子源の理論シミュレーション研究
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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
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    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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  • 财政年份:
    2012
  • 资助金额:
    $ 1.34万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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知道了