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ナノサイズ流体プロセスを用いた金属直立プラズモニック構造作製法の開発

使用纳米流体工艺开发金属直立等离子体结构的制造方法

基本信息

批准号：
21656018
负责人：
中田芳樹
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2010
项目状态：
已结题

项目摘要

超短パルスレーザーを用いてナノサイズの金属流体プロセスを瞬間的に誘起し、金属の直立構造が周期的に配列する構造を形成する。今年度は下記の成果を得た。1.装置の改良:前年度に開発した透過型回折格子と縮小光学系を組み合わせたフェムト秒レーザー干渉加工装置に対し、光束毎に位相・振幅を変調する装置を追加した。2.新規ナノ形状の達成:薄膜材料、膜厚、基板、干渉加工条件などをパラメーターとすることにより、下記の成果を得た。これらにより、(1)～(4)の研究目的を達成し、さらに(5)の新規ナノ形状を創製した(1)曲率半径7.5nmの極小ナノウォータードロップの形成(金)(2)最小頂点曲率半径約2nm(平均値5.4nm)の金ナノウィスカーの形成(3)金ナノウィスカーのアスペクト比:約17(4)最小頂点曲率半径約6nmの銀ナノウィスカーの形成、ナノクラウン周囲のナノスパイク頂点曲率半径:7nm、アスペクト比>5(5)位相・振幅変調による「多重周期構造」「倍密度構造」「周期破線構造」の創製本手法は従来のナノマテリアル形成法に対し、「従来に無いナノ形状」「正確な周期構造の自動生成」「素材の自由度」「加工速度」「大面積一括加工」等の点で優れており、ナノテクノロジーやメタマテリアルなどのナノマテリアル応用分野全般において新しい応用が期待できる。

The ultra-short equipment is used to form the equipment of the metal fluid cycle and the configuration of the vertical cycle of the metal. This year, you will get a lot of results. 1. Device improvement: in the previous year, the transmission-type refolding grid system of the small Optics Department was used to improve the performance of the dry processing device, and the beam phase amplitude response device was added. two。 The shape of the new regulation has been achieved: thin film material, film thickness, substrate, dry processing conditions. The research objectives of (1) ~ (4) are achieved. The radius of curvature (1) the radius of curvature 7.5nm (5) the radius of curvature (1) the radius of curvature (1) the radius of curvature of the minimum point (2) the radius of curvature of the minimum point is about 2nm (average 5.4nm), the radius of curvature (3) the radius of curvature of the minimum point is about 17 (4) the radius of curvature of the point is about 6nm. Radius of curvature of the point: 7nm, ratio & gt 5 (5) Phase amplitude measurement, "multiple cycle generation", "density doubling", "cycle breaking", "cycle breakage", and so on. This method is used to analyze the formation method, such as automatic cycle generation, "material freedom", "processing speed", "general processing" and so on. I don't know. I don't know what to do.