Fabrication of Multi Nano-array Electrodes with High Aspect Ratio Using Quantum Beam Irradiation

利用量子束辐照制造高纵横比的多纳米阵列电极

• 批准号: 21686087
• 负责人: OSHIMA Akihiro
• 金额: $ 17.22万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21686087/
• 关键词: 量子ビーム; ナノ粒子; 金属還元; アレイ電極; プラズマ; ナノ加工; 超低エネルギーEB; マイクロアレイ; ナノ材料

The precision nano/ micro-fabrication of perfluorinated polymers including crosslinked one was carried out using various ion beams. Then, the sample which functionalized by graft polymerization and supported the silver ion was prepared. The direct reduction in the solid phase was performed by the quantum beam irradiation, and the obtained materials were analyzed with SEM-EDX and XPS. As results, the pure silver nanoparticle has been detected. Moreover, the array electrode with 60. m square can produce. It is succeeded that 800nm-width structures would be fabricated by direct patterning.

采用不同离子束对全氟聚合物进行了纳米/微米级的精密加工。然后，制备了接枝聚合功能化的负载银离子的样品。采用量子束辐照进行固相直接还原，并对所得材料进行了SEM-EDX和XPS分析。结果，检测到纯的银纳米颗粒。此外，阵列电极具有60. m平方米可以生产。成功地实现了800 nm宽的结构的直接构图。

项目成果

微細構造体及びその製造方法

显微组织及其制造方法

• 发表时间: 2019

Surface modificationofpolymericmaterialsusingultralowenergyelectron beam irradiation

超低能电子束辐照聚合物材料的表面改性

• 发表时间: 2011
• 期刊: RadiationPhysicsandChemistry
• 作者: Akihiro Oshima;Fumiya Shiraki;Hajime Fujita;Masakazu Washio
• 通讯作者: Masakazu Washio

Nanofabrication of Sulfonated Polystyrene-g-FEP with Silver Ion (Ag+) using Ion Beam Direct Etching and Reduction

使用离子束直接蚀刻和还原技术纳米制造含银离子 (Ag ) 的磺化聚苯乙烯-g-FEP

• DOI: 10.2494/photopolymer.24.513
• 发表时间: 2011
• 作者: Hidehiro Tsubokura;A. Oshima;T. Oyama;Hiroki Yamamoto;T. Murakami;S. Tagawa;M. Washio
• 通讯作者: M. Washio

重イオン照射による傾斜機能材料の創製

通过重离子辐照创建功能梯度材料

• 发表时间: 2010
• 作者: 大島明博;白木文也;高澤侑也;藤田創;吉川妙子;巽貴浩;坪倉英裕;高橋朋宏;大山(五輪)智子;坂上和之;岡壽崇;工藤久明;村上健;鷲尾方一;濱義昌
• 通讯作者: 濱義昌

機能性微細パターン作製のための金属担持高分子に対する集束イオンビーム加工に関する研究

用于制造功能性精细图案的金属支撑聚合物的聚焦离子束加工研究

• 发表时间: 2010
• 作者: 坪倉英裕;高澤侑也;高橋朋宏;大久保聡;大山(五輪)智子;山本洋揮;大島明博;田川精一;鷲尾方一
• 通讯作者: 鷲尾方一