Study on selective molecular captured nano-micro scale filter

选择性分子捕获纳微米级过滤器的研究

• 批准号: 19760613
• 负责人: OSHIMA Akihiro
• 金额: $ 2.32万
• 依托单位: Osaka University (2008)Waseda University (2007)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760613/
• 关键词: ナノ加工; 量子ビーム; フッ素樹脂; 放射光; イオンビーム; 電子線グラフト; ナノ多機能材料; ナノ構造形成・制御; 加速器・ビーム工学; 新機能材料

微細加工に当たっては、PTFE分散液(XAD-911、旭硝子フロロポリマーズ社製)をSiウェハ上にスピンコートしたPTFEを用いた。早大理工研設置のEB装置等を用い、各試料に対して窒素中335±3℃で600kGyの電子線照射を行い、架橋処理を施した。得られた試料を放射光やFIB装置を用いて直接加工することで、マイクロ・ナノサイズのフィルター加工を行った。加工後、EBグラフト法によりスルホン酸基を付与し機能化した。FE-SEMで試料を観察し、グラフト後の加工形状を評価した。その結果、10μm程度の孔径であれば問題ないが、600nm程度の孔径では表面が膨潤し平滑性が失われることが明らかになった。そこで、予め機能化した試料について微細加工を試みた結果、エッチング速度は遅くなるものの、面平滑性のある1μm以下のナノスケール加工が可能であることがわかった。

When microprocessing, PTFE dispersions (XAD-911, saltpetre and saltpetre) are used on Si dispersions. Morning University of Science and Technology has set up equipment such as EB equipment and other equipment, and the equipment has been operated and operated under the temperature of 335 ±3 ℃ in 600kGy electron beam irradiation system. The radiation FIB device is used to process directly, directly, and directly. After processing, EB testing method is used to determine whether the acid base is paid to the machine. The FE-SEM material is used to inspect and process the shape. The results show that the aperture of 10 μ m, the aperture of 600nm, the surface of the aperture, the smoothness and the smoothness of the surface are affected. The results of micromachining experiments, speed response, surface smoothness and surface smoothness of less than 1 μ m may be affected.

项目成果

Nano- and Micro- Fabrication of Polymeric Materials Using Beam Technology

利用光束技术制造聚合物材料的纳米和微米

• 发表时间: 2008
• 作者: A. Oshima;M. Washio;S. Tagawa
• 通讯作者: S. Tagawa

Fabrication of Micro- and Nano-Structures of Crosslinked Polytetrafluoroethylene by Means of Focused Ion Beam

聚焦离子束制备交联聚四氟乙烯微纳米结构

• 发表时间: 2008
• 作者: A. Oshima;N. Miyoshi;N. Fukutake;Y. Takasawa;Y. Matsui;K. Okamoto;S. Seki;M. Washio;S. Tagawa
• 通讯作者: S. Tagawa

Microfabrication of nano - scale pattern on crosslinked PTFE using focused ion beam

使用聚焦离子束在交联 PTFE 上微加工纳米级图案

• 发表时间: 2008
• 作者: N. Fukutake;T. Urakawa;Y. Takasawa;A. Oshima;M.Washio;K. Okamoto;S. Tagawa
• 通讯作者: S. Tagawa

Nano-fabrication of Fluoropolymers using Focused Ion Beam

使用聚焦离子束纳米制造含氟聚合物

• 发表时间: 2008
• 作者: N. Fukutake;T. Urakawa;Y. Takasawa;T. Gowa;T. Takahashi;Y. Hirano;M. Washio;A. Oshima;K. Okamoto;S. Tagawa
• 通讯作者: S. Tagawa

Surface modificationofpolymericmaterialsusingultralowenergyelectron beam irradiation

超低能电子束辐照聚合物材料的表面改性

• 发表时间: 2011
• 期刊: RadiationPhysicsandChemistry
• 作者: Akihiro Oshima;Fumiya Shiraki;Hajime Fujita;Masakazu Washio
• 通讯作者: Masakazu Washio