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Study on selective molecular captured nano-micro scale filter

Study on selective molecular captured nano-micro scale filter
选择性分子捕获纳微米级过滤器的研究
批准号：
19760613
负责人：
OSHIMA Akihiro
金额：
$2.32万
依托单位：
Osaka University (2008)Waseda University (2007)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760613/
关键词：
ナノ加工量子ビームフッ素樹脂放射光イオンビーム電子線グラフトナノ多機能材料ナノ構造形成・制御加速器・ビーム工学新機能材料

项目摘要

项目成果

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微細加工に当たっては、PTFE分散液(XAD-911、旭硝子フロロポリマーズ社製)をSiウェハ上にスピンコートしたPTFEを用いた。早大理工研設置のEB装置等を用い、各試料に対して窒素中335±3℃で600kGyの電子線照射を行い、架橋処理を施した。得られた試料を放射光やFIB装置を用いて直接加工することで、マイクロ・ナノサイズのフィルター加工を行った。加工後、EBグラフト法によりスルホン酸基を付与し機能化した。FE-SEMで試料を観察し、グラフト後の加工形状を評価した。その結果、10μm程度の孔径であれば問題ないが、600nm程度の孔径では表面が膨潤し平滑性が失われることが明らかになった。そこで、予め機能化した試料について微細加工を試みた結果、エッチング速度は遅くなるものの、面平滑性のある1μm以下のナノスケール加工が可能であることがわかった。
期刊论文(0)
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会议论文
Nano- and Micro- Fabrication of Polymeric Materials Using Beam Technology
利用光束技术制造聚合物材料的纳米和微米
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [A. Oshima, M. Washio, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
Fabrication of Micro- and Nano-Structures of Crosslinked Polytetrafluoroethylene by Means of Focused Ion Beam
聚焦离子束制备交联聚四氟乙烯微纳米结构
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [A. Oshima, N. Miyoshi, N. Fukutake, Y. Takasawa, Y. Matsui, K. Okamoto, S. Seki, M. Washio, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
Microfabrication of nano - scale pattern on crosslinked PTFE using focused ion beam
使用聚焦离子束在交联 PTFE 上微加工纳米级图案
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [N. Fukutake, T. Urakawa, Y. Takasawa, A. Oshima, M.Washio, K. Okamoto, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
Nano-fabrication of Fluoropolymers using Focused Ion Beam
使用聚焦离子束纳米制造含氟聚合物
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [N. Fukutake, T. Urakawa, Y. Takasawa, T. Gowa, T. Takahashi, Y. Hirano, M. Washio, A. Oshima, K. Okamoto, S. Tagawa]
通讯作者： S. Tagawa
共 7 条
    Fabrication of Multi Nano-array Electrodes with High Aspect Ratio Using Quantum Beam Irradiation
    • 批准号：
      21686087
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • 资助金额：
      $17.22万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      OSHIMA Akihiro
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金