Gecko-inspired electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers

受壁虎启发的静电吸盘由聚合物静电感应纤维组成

• 批准号: 22360102
• 负责人: SAITO Shigeki
• 金额: $ 11.98万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22360102/
• 关键词: マイクロ; ナノメカトロニクス; 生産技術; 生体模倣; 高分子繊維; 静電チャック; 導電性芯; 静電力

In this research, an ESC that can handle curved/rough surface is developed. An ESC consisting of compliant electrostatic inductive fibers which transform according to the profile of surface has been proposed for such use. The fundamental idea of comes from the inspiration based on gecko which can quickly adhere and move on walls or ceilings having curved/rough surface; it is well-known that the tip of such surprising capability is due to the hierarchical fiber micro/nano-structure on the finger-tips. The potential and feasibility of the fiber ESC proposed are shown by prototyping electrostatic inductive fibers and new type of ESC consisting of the fibers that can work for curved or rough surface through both experimental and theoretical approaches.

在本研究中，开发了一种可以处理曲面/粗糙表面的ESC。已经提出了由根据表面轮廓变换的柔性静电感应纤维组成的ESC用于这种用途。的基本想法来自基于壁虎的灵感，壁虎可以在具有弯曲/粗糙表面的墙壁或天花板上快速粘附和移动;众所周知，这种令人惊讶的能力的尖端是由于指尖上的分层纤维微/纳米结构。通过对静电感应纤维和由其组成的新型静电感应纤维的原型制作，从实验和理论两个方面展示了纤维静电感应的潜力和可行性。

项目成果

静電誘導ファイバーによる物体吸着機構の開発

利用静电感应纤维开发物体吸附机构

• 发表时间: 2010
• 作者: T. Okawa;C. Egami;早田史明,宝田亘,鞠谷雄士,齋藤滋規
• 通讯作者: 早田史明,宝田亘,鞠谷雄士,齋藤滋規

静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発

利用静电感应纤维一体结构开发兼容曲面的静电吸盘

• 发表时间: 2011
• 期刊: 2011年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
• 作者: 澤井賢司;宝田亘;鞠谷雄士;高橋邦夫;齋藤滋規
• 通讯作者: 齋藤滋規

静電誘導ファイバー集積化による物体吸着離脱機構の開発

利用静电感应纤维集成开发物体吸附/分离机构

• 发表时间: 2011
• 期刊: 繊維学会ナノファイバー技術戦略研究委員会講演会「ナノ・マイクロファイバーの構造解析と応用展開」要旨集
• 作者: A. Yamada;H. Mameda;H. Fujimoto and H. Mochiyama;齋藤滋規
• 通讯作者: 齋藤滋規

Electrostatic chuck consisting of electrostatic inductive polymer fibers for handling of curved surface

由静电感应聚合物纤维组成的静电吸盘，用于处理曲面

• 发表时间: 2011
• 作者: Kenji SAWAI;Wataru TAKARADA;Takeshi KIKUTANI;Kunio TAKAHASHI;Shigeki SAITO
• 通讯作者: Shigeki SAITO

双極型静電誘導ファイバーにおける電極断面形状の発生力への影響

双极静电感应纤维电极截面形状对产生力的影响

• 发表时间: 2012
• 期刊: 2012年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
• 作者: 前薗圭佑;高橋邦夫;齋藤滋規
• 通讯作者: 齋藤滋規