Evaluation of high frequency properties of transparent zinc oxide thin films and their application

透明氧化锌薄膜高频性能评价及其应用

• 批准号: 22360277
• 负责人: HANEDA Hajime
• 金额: $ 12.23万
• 依托单位: National Institute for Materials Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22360277/
• 关键词: 透明導電性酸化物; 高周波物性; 透明導電体; 酸化亜鉛; 高周波素子; アンテナ; ミリ波; マイクロ波; 導波路; 酸化物半導体; 酸化インジウム; 高周波デバイス; 伝送線路

In order to promote modern communications equipment and communication networks, issues for miniaturization and inhibition of interference in high-frequency module, such as antenna, grew increasingly apparent. To overcome them, we are developing transparent device for the high-frequency applications. Adapting this concept, space for display can be used for mounting the transparent high-frequency devices. In this study, properties at high-frequencyof transparent thin films, such as ZnO of which studies had not been enough, are evaluated, and optimize structure of the transparent device at high-frequency is proposed.

为了促进现代通信设备和通信网络的发展，天线等高频模块的小型化和抑制干扰的问题日益突出。为了克服这些问题，我们正在开发用于高频应用的透明器件。采用这种概念，显示空间可用于安装透明高频器件。本研究对透明薄膜在高频下的性能进行了评价，并对高频下透明器件的结构进行了优化。

项目成果

Oxygen Tracer Diffusion in Magnesium-doped ZnO Ceramics

氧示踪剂在镁掺杂 ZnO 陶瓷中的扩散

• 发表时间: 2010
• 期刊: J.Ceram.Soc.Jpn
• 作者: I.Sakaguch;K.Matsumoto;T.Ohgaki;Y.Adachi;K.Watanabe;N.Ohashi;H.Haneda
• 通讯作者: H.Haneda

Diffusion behavior in thin film with wurtzite crystal structure

纤锌矿晶体结构薄膜中的扩散行为

• 发表时间: 2010
• 作者: H.Haneda;N.Ohashi;I.Sakaguchi;Y.Adachi;T.Ohgaki;K.Matsumoto
• 通讯作者: K.Matsumoto

Defect structure of zinc oxide and related properties

氧化锌的缺陷结构及相关性能

• 发表时间: 2010
• 作者: H.Haneda;I.Skaguchi;N.Ohashi;S.Hishita
• 通讯作者: S.Hishita

Polarity control of ZnO films on sapphire and glass substrates

蓝宝石和玻璃基板上 ZnO 薄膜的极性控制

• 发表时间: 2010
• 作者: H.Haneda;K.Watanabe;K. Matsumoto;N. Saito(Shinjo);T.Ohgaki;Y.Moriura;I.Sakaguchi;Y.Adachi;N.Ohashi;H.Haneda;Y.Adachi
• 通讯作者: Y.Adachi

溶液プロセスによる透明ZnO膜の堆積と紫外線照射による導電性の変化

溶液法沉积透明ZnO薄膜并通过紫外线照射改变电导率

• 发表时间: 2012
• 作者: 大橋直樹;島村清史;谷口孝志;渡邊賢司;坂口勲;大垣武;菱田俊一;北村健二;羽田肇;Noriko Saito;Isao Sakaguchi;Yutaka Adachi;Noriko Saito;Naoki Ohashi;Yutaka Adachi;Ken Watanabe;Yutaka Adachi;安達 裕;齋藤 紀子;我田 元;洪 正洙
• 通讯作者: 洪 正洙