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Three Dimensional Micro-structure Formation on Si Surfaces Using Surface-Diffusion-Driven Shape Transformation

Three Dimensional Micro-structure Formation on Si Surfaces Using Surface-Diffusion-Driven Shape Transformation
使用表面扩散驱动形状变换在硅表面形成三维微结构
批准号：
22560023
负责人：
SUDOH Koichi
金额：
$2.66万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-04-01 至 2013-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560023/
关键词：
表面シリコン微細構造表面拡散高温アニール

项目摘要

项目成果

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Spontaneous shape transformation occurs as high-aspect-ratio hole patterns fabricated on Si substrates are annealed in non-oxidizing ambient at high temperatures. In this project, formation technology of three dimensional micro-structures applying the spontaneous shape transformation was investigated. Observing the shape transformation processes for various hole patterns, three dimensional structures created using this method were shown. Performing numerical simulations based on continuum theory, the dominant mass transport mechanism for the observed shape transformation was fond to be surface diffusion.
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Si(001)表面における高アスペクト比ホールの高温アニールによる空洞形成
Si(001)表面高深宽比孔高温退火形成空腔
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [須藤孝一, 蛭田玲子, 栗林均]
通讯作者： 栗林均
Shape Evolution of High Aspect Ratio Holes on Si(001) during Hydrogen Annealing
Si(001) 上高深宽比孔在氢气退火过程中的形状演化
DOI： 10.1063/1.4829912
发表时间： 2013
期刊： J. Appl. Phys.
影响因子： --
作者： [K. Sudoh, R. Hiruta, H. Kuribayashi]
通讯作者： H. Kuribayashi
Formation of Silicon-on-Nothing Structures with Extremely Flat Surfaces
DOI： 10.7567/jjap.52.075601
发表时间： 2013-07-01
期刊： JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
影响因子： 1.5
作者： [Sudoh, Koichi, Nakamura, Jun, Maenaka, Kazusuke]
通讯作者： Maenaka, Kazusuke
表面拡散による形態変化を利用した超平坦シリコン・メンブレンの形成
利用表面扩散引起的形态变化形成超平坦硅膜
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [須藤孝一, 榊原昇一]
通讯作者： 榊原昇一
共 9 条
    Fabrication and characterization of atomic-step-free silicon/oxide interface by controlling step arrangement
    • 批准号：
      12650029
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      SUDOH Koichi
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金