High speed deposition of zinc oxide film using atmospheric pressure glow discharge
利用常压辉光放电高速沉积氧化锌薄膜
基本信息
- 批准号:22560113
- 负责人:
- 金额:$ 2.75万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2010
- 资助国家:日本
- 起止时间:2010 至 2012
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Transparent conductive thin films used for a liquid crystal display or a solar cell etc. have to fabricated in large area with low cost system. Therefore, I generated coldplasma under atmospheric pressure, and developed the deposition system of Zinc oxide films. For fabricating thin films uniformly in large area, slit width was expanded into 100 mm. The uniform films were fabricated. The subject remained about improvement in deposition rate.
用于液晶显示器或太阳能电池等的透明导电薄膜必须以低成本系统大面积制造。因此,我在大气压下产生冷等离子体,并开发了氧化锌薄膜的沉积系统。为了大面积均匀地制造薄膜,狭缝宽度扩大到100毫米。制备出均匀的薄膜。主题仍然是关于沉积速率的改进。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Fabrication of ZnO:Al Thin Films by Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator
使用大气压冷等离子体发生器制备 ZnO:Al 薄膜
- DOI:
- 发表时间:2010
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Akiou KAWAGUCHI ; Yoshifumi Suzaki
- 通讯作者:Yoshifumi Suzaki
Fabrication of a Transparent Antifauling Thin Film Using an Atmospheric Pressure Cold Plasma Deposition System
使用大气压冷等离子体沉积系统制备透明防故障薄膜
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Akiou KAWAGUCHI ; Yoshifumi Suzaki;岩田 弘;須崎嘉文;Koji YAMAUCHI
- 通讯作者:Koji YAMAUCHI
Effect of substrate on ZnO thin film fabrication by using an atmospheric pressure cold plasma generator
基底对常压冷等离子体发生器制备ZnO薄膜的影响
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:W. Hang;L. Zhou;J. Shimizu;T. Yamamoto;J. Yuan;Mina Kim
- 通讯作者:Mina Kim
Creep test of a strain sensor using double-layered metalized fiber grating and soldering
使用双层金属化光纤光栅和焊接的应变传感器的蠕变测试
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Masato ASADA;Kenzo YAMAGUCHI;Kouichi MARU;Hiromu Iwata;Takashi YOKOUCHI;Yoshifumi SUZAKI
- 通讯作者:Yoshifumi SUZAKI
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
SUZKI Yoshifumi其他文献
SUZKI Yoshifumi的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
相似海外基金
面発射型プラズマ弾丸生成機構の解明と大容量大気圧低温プラズマ生成への応用
表面发射等离子体子弹产生机理的阐明及其在大容量常压低温等离子体产生中的应用
- 批准号:
23K25863 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 2.75万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
運動論的シミュレーションによる大気圧低温プラズマの高エネルギー電子生成・輸送機構
利用动力学模拟研究大气压低温等离子体中高能电子的产生和传输机制
- 批准号:
24K17035 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 2.75万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
大気圧低温プラズマ照射の細胞に対する長期影響と細胞応答の解析
常压低温等离子体照射对细胞及细胞反应的长期影响分析
- 批准号:
24K00619 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 2.75万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
時間相関単一光子計数法による大気圧低温プラズマ発光分光診断の高度化
使用时间相关单光子计数方法进行大气压低温等离子体发射光谱诊断的复杂性
- 批准号:
24K07005 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 2.75万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
大気圧低温プラズマが誘導する細胞応答の分子機構
大气压低温等离子体诱导细胞反应的分子机制
- 批准号:
22K03592 - 财政年份:2022
- 资助金额:
$ 2.75万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
大気圧低温プラズマによる感染歯質の無菌化技術確立のための基礎的研究
建立利用常压低温等离子体对感染牙齿结构进行消毒的技术的基础研究
- 批准号:
26861612 - 财政年份:2014
- 资助金额:
$ 2.75万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
大気圧低温プラズマによる液中タンパク質反応の機構解明
常压低温等离子体阐明液体中蛋白质反应机理
- 批准号:
12J00669 - 财政年份:2012
- 资助金额:
$ 2.75万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows














{{item.name}}会员




