Development of removal technique of diamond films for reuse of WC-Co alloy tools

WC-Co合金刀具再利用金刚石薄膜去除技术的开发

• 批准号: 22560119
• 负责人: TAKEUCHI Sadao
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: Nippon Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560119/
• 关键词: 切削; 研削加工; 材料加工・処理; プラズマ処理; 表面・界面物性

Diamond coated WC-Co alloy tools are used for the drilling of carbon fiber reinforced plastics. To realize the reuse of the tool, it is necessary to establish a technique to remove worn diamond film coated. Then, a technique with high density atmospheric plasma torch system is developed to remove the film. The system can produce output power of 1.2 kW stably for more than 1 hours continuously under 2.54 GHz microwave. It is proved that the system can remove the film efficiently by the addition of oxygen gas to Ar plasma. It was found that the technique can also be applied, by controlling plasma conditions, to the removing of polycrystalline diamond film without selective etching of crystal boundaries and/or crystal orientation dependence.

金刚石涂层WC-Co合金刀具用于碳纤维增强塑料的钻削加工。为了实现刀具的再利用，有必要建立一种去除磨损金刚石涂层的技术。在此基础上，发展了一种高密度大气等离子体炬系统去除薄膜的技术。该系统在2.54GHz微波下可连续稳定输出功率1.2kW以上。实验结果表明，在Ar等离子体中加入氧气可以有效地去除薄膜。有人发现，该技术也可以应用，通过控制等离子体条件，去除多晶金刚石膜没有选择性蚀刻的晶体边界和/或晶体取向的依赖性。

项目成果

マイクロ波を用いた大気圧プラズマトーチによるダイヤモンド膜のエッチング

利用微波常压等离子炬蚀刻金刚石薄膜

• 发表时间: 2013
• 作者: 竹内 貞雄;松永 健志;金橋 寛明
• 通讯作者: 金橋 寛明

ダイヤモンド膜の付着力評価装置の開発

金刚石膜附着力评价装置的研制

• 发表时间: 2010
• 作者: 鈴木 航;竹内貞雄
• 通讯作者: 竹内貞雄

ボロンドープダイヤモンド膜の摩擦摩耗特性評価

掺硼金刚石膜摩擦磨损特性评价

• 发表时间: 2012
• 作者: 竹内 貞雄;一ノ瀬 修
• 通讯作者: 一ノ瀬 修

ダイヤモンド膜の機械工具への期待と展開

对金刚石薄膜机床的期望与发展

• 发表时间: 2012
• 期刊: 材料試験技術
• 作者: 竹内 貞雄;横澤 毅
• 通讯作者: 横澤 毅

ダイヤモンド膜の機械的応用への期待と展開

金刚石薄膜机械应用的展望与发展

• 发表时间: 2012
• 期刊: 材料試験技術
• 作者: 竹内貞雄;横澤毅
• 通讯作者: 横澤毅