Simple and simultaneous measurement of five-degrees-of-freedom error motions of high-speed microspindle

高速微主轴五自由度误差运动的简单同步测量

• 批准号: 22760100
• 负责人: MURAKAMI Hiroshi
• 金额: $ 2.41万
• 依托单位: The University of Kitakyushu (2012)Kyushu Sangyo University (2010-2011)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22760100/
• 关键词: 高速マイクロスピンドル; 回転誤差; レーザ; 測定; ロッド・ボールレンズ; 主軸回転誤差; 誤差解析; スピンドル

We present an optical technique to measure five-degree-of-freedom error motions of a high-speed microspindle. The measurement system consists of a rod lens, a ball lens, four divided laser beams, and multiple divided photodiodes. When the spindle rotates with its concomitant rotation errors, the rod and ball lenses, which are mounted to the chuck of the spindle, are displaced, and this displacement is measured using an optical technique. The results show that the measurement system has a resolution of 5 nm and can be used to evaluate high-speed microspindle rotation errors.

提出了一种测量高速微主轴五自由度误差运动的光学方法。该测量系统由一个棒透镜、一个球透镜、四个分割的激光束和多个分割的光电二极管组成。当主轴旋转时，伴随着旋转误差，安装在主轴卡盘上的棒透镜和球透镜发生位移，并且使用光学技术测量该位移。实验结果表明，该测量系统具有5 nm的分辨率，可用于高速微主轴回转误差的测量。

项目成果

Simple and Simultaneous Measurement of Five-Degrees-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle

微型高速主轴五自由度误差运动的简单同步测量

• 发表时间: 2012
• 作者: Hiroshi MURAKAMI;Akio KATSUKI;Takao SAJIMA;Noriya NAKAYAMA
• 通讯作者: Noriya NAKAYAMA

Measurement of Five-Degrees-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle Using an Optical Technique

利用光学技术测量微型高速主轴的五自由度运动误差

• 发表时间: 2011
• 作者: H. Waki;T. Kitamura;H. Ogi;A. Kobayashi;Hiroshi MURAKAMI
• 通讯作者: Hiroshi MURAKAMI

高速小径主軸5自由度運動誤差の簡易同時計測-誤差解析および評価実験-

简单同时测量高速小直径主轴5个自由度运动误差-误差分析与评估实验-

• 发表时间: 2011
• 作者: 村上洋;甲木昭雄;鬼鞍宏猷;佐島隆生;中山義野
• 通讯作者: 中山義野

Optical Measurement of Five-Degree-of-Freedom Error Motions for a Micro High-Speed Spindle

微型高速主轴五自由度误差运动的光学测量

• 发表时间: 2010
• 作者: Hiroshi MURAKAMI;Norio KAWAGOISHI;Eiji KONDO;Akira KODAMA
• 通讯作者: Akira KODAMA

高速小径主軸 5 自由度運動誤差の簡易同時測定-誤差解析および評価実験-

简单同时测量高速小直径主轴5自由度运动误差-误差分析与评估实验-

• 发表时间: 2012
• 作者: M. Okayasu;S. Takasu;A. Niikura;S. Okano and T. Shiraishi;村上 洋,甲木 昭雄,鬼鞍 宏猷,佐島 隆生,近藤英二
• 通讯作者: 村上 洋,甲木 昭雄,鬼鞍 宏猷,佐島 隆生,近藤英二