Piezoelectric thick film more than 100 miro-meters deposited by the ultrasonic assisted hydrothermal method

超声辅助水热法沉积100微米以上压电厚膜

基本信息

  • 批准号:
    23360134
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 11.56万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份:
    2011
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2011-04-01 至 2014-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

For medical ultrasonic devices and micro piezoelectric actuators, thick piezoelectric films are strongly demanded. In the conventional piezoelectric film deposition processes, the thickness have been limited because the crack was easily made inside the film due to high temperature crystallization process more than 600 degree C.In this study, we focused on the hydrothermal method whose reaction temperature is 250 degree C. By developing the ultrasonic assisted hydrothermal method, we demonstrated a 172 micrometer thickness of potassium niobate film.
医用超声器件和微压电致动器对压电薄膜的厚度提出了很高的要求。在传统的压电薄膜沉积工艺中,由于600℃以上的高温晶化过程,薄膜内部容易产生裂纹,从而限制了薄膜的厚度。在本研究中,我们重点研究了反应温度为250℃的水热法,通过发展超声波辅助水热法,我们展示了172微米厚的Nb酸钾薄膜。

项目成果

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会议论文数量(0)
专利数量(0)
Hydrothermal method for piezoelectric materials and their applications
水热法压电材料及其应用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takeshi Morita
  • 通讯作者:
    Takeshi Morita
Synthesis of piezoelectric materials by ultrasonic hydrothermal method
超声水热法合成压电材料
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Gaku ISOBE;Ryo AGEBA;Takafumi MAEDA;Peter BORNMANN;Tobias HEMSEL;Takeshi MORITA
  • 通讯作者:
    Takeshi MORITA
The hardening of CuO–(K,Na)NbO3 via post annealing with argon
  • DOI:
    10.7567/jjap.53.015503
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Yaoyang Liu;T. Maeda;Y. Yokouchi;T. Morita
  • 通讯作者:
    Yaoyang Liu;T. Maeda;Y. Yokouchi;T. Morita
(K_0.48Na_0.52)NbO_3 ceramics using powders synthesized by ultrasonic assisted hydrothermal method
超声波辅助水热法合成粉体(K_0.48Na_0.52)NbO_3陶瓷
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Gaku Isobe;Takufumi Maeda;Kanako Ohta;Yuriko Yokouchi;Peter Bornmann;Tobias Hemsel and Takeshi Morita
  • 通讯作者:
    Tobias Hemsel and Takeshi Morita
超音波アシスト水熱合成法のための高温対応振動子の開発
超声辅助水热合成高温振荡器的研制
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    五十部学;ペーター・ボーンマン;トビアス・ヘムゼル;森田剛
  • 通讯作者:
    森田剛
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PZT single crystal fabricated with ultrasonic-assisted hydrothermal method
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  • 批准号:
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  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 11.56万
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    $ 11.56万
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    24656153
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    2012
  • 资助金额:
    $ 11.56万
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  • 批准号:
    23656162
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 11.56万
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    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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  • 批准号:
    23370106
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 11.56万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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  • 批准号:
    22657064
  • 财政年份:
    2010
  • 资助金额:
    $ 11.56万
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    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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小型、轻量、柔软的压电换能器
  • 批准号:
    21760250
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 11.56万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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