30 GHz MEMS varibale capacitor utilizing pico-liter droplet

利用皮升液滴的 30 GHz MEMS 可变电容器

• 批准号: 23360165
• 负责人: SUZUKI KENICHIRO
• 金额: $ 12.56万
• 依托单位: Ritsumeikan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360165/
• 关键词: RF-MEMS; 可変キャパシタ; 液滴搬送; EWOD; フィルタ; 表面張力; 空間二重層; BEF; 流体; 静電容量; RFフィルタ; 毛管現象; ファンデルワールス力; 高周波; マイクロ・ナノデバイス; 先端機能デバイス; 無線通信; 流体制御; エレクトロウェッティング

The research on a novel principle utilizing the change of 80 in the permittivity in a capacitor with pure water is objective in this research. During the research, 0.1 nL water droplet could be transported in a 10 um gap. By using this varibale capacitor, a band elimination filter (BEF) for the operation of 1-6 GHz was fabricated. Note that it was indicated that water droplet in a 10 um gap could be transported, variable capacitor with water could be operated in 10 GHz, and the result could be adopted to a real filter by the success in the varibale BEF.

本研究的目的是研究利用纯水电容器介电常数变化 80 的新原理。在研究过程中，0.1 nL 的水滴可以在 10 um 的间隙中传输。通过使用这种可变电容器，制作了工作频率为1-6 GHz 的带阻滤波器(BEF)。值得注意的是，它表明可以传输 10 um 间隙中的水滴，带有水的可变电容器可以在 10 GHz 下工作，并且通过在可变 BEF 中的成功，该结果可以应用于实际滤波器。

项目成果

ミリ波帯フェーズドアレイアンテナ(PAA)と高周波可変フィルタへのMEMS技術の展開

将MEMS技术应用于毫米波段相控阵天线（PAA）和高频可变滤波器

• 发表时间: 2014
• 作者: 谷口龍希;サティアバマ ティル;堀越佳治;牧本俊樹;本橋 剛;鈴木健一郎
• 通讯作者: 鈴木健一郎

Higher-order vibrational mode frequency tuning utilizing fishbone-shaped microelectromechanical systems resonator

• DOI: 10.1088/0960-1317/23/4/045018
• 发表时间: 2013-04
• 期刊: Journal of Micromechanics and Microengineering
• 影响因子: 2.3
• 作者: Naoya Suzuki;H. Tanigawa;Kenichiro Suzuki

1-5GHz monolithic multifrequency-variable band elimination filter

1-5GHz单片多频可变带阻滤波器

• 发表时间: 2014
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: Yuuki Yamada;Tatsuya Yamanaka;Takashi Furutsuka;and Kenichiro Suzuki
• 通讯作者: and Kenichiro Suzuki

2 - 6 GHz Monolithic Multi-frequency-variable Band Elimination Filter Utilizing Fluid Microelectromechanical System Variable Capacitors

采用流体微机电系统可变电容器的 2 - 6 GHz 单片多频可变带阻滤波器

• 作者: Y. Yamada;T. Yamanaka;T. Furutsuka;and K. Suzuki
• 通讯作者: and K. Suzuki

A widely frequency variable UHF bandpass filter with fluid MEMS capacitors

具有流体 MEMS 电容器的宽频率可变 UHF 带通滤波器

• 发表时间: 2013
• 作者: T. Nishimura;Y. Yamada;Y. Furuno;T. Furutsuka;and K. Suzuki
• 通讯作者: and K. Suzuki