Establishment of high efficient abrasive technique with mechanochemical superabrasive stone for next-generation

建立新一代机械化学超硬磨石高效研磨技术

• 批准号: 23560143
• 负责人: YAMAGUCHI Tomomi
• 金额: $ 3.24万
• 依托单位: Kansai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560143/
• 关键词: 超精密加工; 超仕上; 平滑加工; メカノケミカル; ダイヤモンド; 複合砥粒砥石; サファイア; シリコン; 超砥粒砥石; 硫酸バリウム; コロイダルシリカ; 酸化セリウム

In the previous study, cBN/CeO2 stone, which is a type of mechanochemical superabrasive stone containing CeO2, was developed. Moreover, it was made clear that this stone produced less subsurface damage and smaller compressive residual stress than cBN stone.In this study, the super planarization of silicon or sapphire as new substrate material was tried through superfinishing with several mechanochemical superabrasive stones. As a result, the surface roughness of each work by this superfinishing was approximately equal to that by conventional lapping and was produced in 3 minutes for silicon or 15 minutes for sapphire. On the other hand, the construction of the topography model of cBN/CeO2 stone, which was a subject of the previous study, was completed.

在前人的研究中，开发了cBN/CeO2石材，这是一种含CeO2的机械化学超磨料石材。此外，与cBN石材相比，该石材产生的亚表面损伤更小，压缩残余应力更小。本研究采用几种机械化学超磨料对硅或蓝宝石作为新型衬底材料进行超精加工。因此，这种超精加工的每个工件的表面粗糙度与传统研磨的表面粗糙度大致相等，硅的表面粗糙度在3分钟内产生，蓝宝石的表面粗糙度在15分钟内产生。另一方面，完成了前人研究课题cBN/CeO2石材地形模型的构建。

项目成果

硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶尻シリコンの超仕上性能

含硫酸钡力化学复合超硬磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能

• 发表时间: 2011
• 作者: 荒木大秀;古城直道;山口智実;松森昇;尾倉秀一
• 通讯作者: 尾倉秀一

硫酸バリウム砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

硫酸钡磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能

• 发表时间: 2013
• 作者: Takashi Saito;Keisuke Suzuki et. al.;荒木大秀,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一
• 通讯作者: 荒木大秀,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一

硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

含硫酸钡力化学复合超硬磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能

• 发表时间: 2011
• 作者: A.Yui;A.Honda;T.Kitajima; H.Saito;X.Lu;A.H.Slocum;河北誠也，山城天心，木村景一，カチョーンルンルアンパナート，鈴木恵友;荒木大秀,古城直道,山口智実,松森昇,尾倉秀一
• 通讯作者: 荒木大秀,古城直道,山口智実,松森昇,尾倉秀一

メカノケミカル複合超砥粒砥石の5因子がサファイアの超仕上性能に及ぼす影響

机械化学复合超硬磨料砂轮五因素对蓝宝石超精加工性能的影响

• 发表时间: 2014
• 作者: 山口智実,古城直道,島田尚一,松森昇,尾倉秀一,廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;山口智実，古城直道，島田尚一，松森 昇，尾倉秀一，廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;田中慎二,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一
• 通讯作者: 田中慎二,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一

メカノケミカル複合超砥粒砥石によるサファイアの超仕上性能

机械化学复合超硬磨料砂轮对蓝宝石的超精加工性能

• 发表时间: 2014
• 作者: 山口智実,古城直道,島田尚一,松森昇,尾倉秀一,廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;山口智実，古城直道，島田尚一，松森 昇，尾倉秀一，廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;田中慎二,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一;Keisuke Suzuki et. al.;田中慎二，古城直道，廣岡大祐，山口智実，松森 昇，尾倉秀一
• 通讯作者: 田中慎二，古城直道，廣岡大祐，山口智実，松森 昇，尾倉秀一