Establishment of high efficient abrasive technique with mechanochemical superabrasive stone for next-generation

建立新一代机械化学超硬磨石高效研磨技术

基本信息

批准号：
23560143
负责人：
YAMAGUCHI Tomomi
金额：
$ 3.24万
依托单位：
Kansai University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
起止时间：
2011 至 2013
项目状态：
已结题

项目摘要

In the previous study, cBN/CeO2 stone, which is a type of mechanochemical superabrasive stone containing CeO2, was developed. Moreover, it was made clear that this stone produced less subsurface damage and smaller compressive residual stress than cBN stone.In this study, the super planarization of silicon or sapphire as new substrate material was tried through superfinishing with several mechanochemical superabrasive stones. As a result, the surface roughness of each work by this superfinishing was approximately equal to that by conventional lapping and was produced in 3 minutes for silicon or 15 minutes for sapphire. On the other hand, the construction of the topography model of cBN/CeO2 stone, which was a subject of the previous study, was completed.

在先前的研究中，开发了一种含有CEO2的机械化学超稳定石的CBN/CEO2石。此外，很明显，这种石头比CBN石头产生的地下损伤和较小的压缩残留应力。在这项研究中，硅或蓝宝石的超平面化是通过使用几种机械化学化学超稳定石的超级生产来尝试的。结果，每项工作的表面粗糙度大约等于传统的打环，并在3分钟内用于硅或15分钟的蓝宝石。另一方面，完成了先前研究的主题CBN/CEO2石的地形模型的构建。

项目成果

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专著数量（0）

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专利数量（0）

硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶尻シリコンの超仕上性能

含硫酸钡力化学复合超硬磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
荒木大秀;古城直道;山口智実;松森昇;尾倉秀一
通讯作者：
尾倉秀一

硫酸バリウム砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

硫酸钡磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
0
作者：
Takashi Saito;Keisuke Suzuki et. al.;荒木大秀,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一
通讯作者：
荒木大秀,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一

硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

含硫酸钡力化学复合超硬磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
A.Yui;A.Honda;T.Kitajima; H.Saito;X.Lu;A.H.Slocum;河北誠也，山城天心，木村景一，カチョーンルンルアンパナート，鈴木恵友;荒木大秀,古城直道,山口智実,松森昇,尾倉秀一
通讯作者：
荒木大秀,古城直道,山口智実,松森昇,尾倉秀一

メカノケミカル複合超砥粒砥石の5因子がサファイアの超仕上性能に及ぼす影響

机械化学复合超硬磨料砂轮五因素对蓝宝石超精加工性能的影响

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
山口智実,古城直道,島田尚一,松森昇,尾倉秀一,廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;山口智実，古城直道，島田尚一，松森昇，尾倉秀一，廣岡大祐;Keisuke Suzuki et.al.;田中慎二,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一
通讯作者：
田中慎二,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一

セリアを含むメカノケミカル超砥粒砥石の作業面トポグラフィのモデリング

对含有二氧化铈的机械化学超硬磨料砂轮的工作表面形貌进行建模