Elektrokeramische mikroelektromechanische Schaltelemente (MEMS) für die Hochfrequenztechnik

我是Rahman Dieser Forschungs公司的创办人Sollen neuartige mikroroelektromachische Schalt(MEMS)和Steuererare Kapazitäten auf基础上的压电式陶瓷材料Aktorik Sowie thermischer Aktorik in Metals dielektrischen Multilagen in a Structuturelllen Phasenübergängen für Anwendungen in der HöchstenzenzTechnic ik entwickelt and unterous ht den。BEI DEN MEMS MIT压电三极管阿克托里克晶片的自适应是从Prozesse auf mikrowellentaugliche衬底到Entwickung mikrowellentauglicher Schalt-und VaraktorDesign设计。在金属-金属氧化物多金属化合物的基础上，研究了其对微电子机械系统的影响。在新不列克利克省，我们不能从极端的物质中得到更多的东西，也不能从极端的物质中吸取教训。他说：“这是一件非常重要的事情。”从悬臂式排版机构到实际排版机构。在Perovskit-Dünschichten auf ihre Eignung ALS Komponente Ehre Eignung ALS Komponente eines Machischen in Perovskit-Dünschichten auf ihre Eignung ALS Komponente eines in Perovskit-Dünschichten auf ihre Eignung ALS Komponente eines in Perovskit-Dünschichten auf ihre Eignung ALS Komponente eines in Perovskit-Dünschichten auf ihre Eignung ALS Komponente eines in Perovskit-Dünschichten auf ihre Eignung ALS Komponente eines neben hre Eignung ALS Komponente eines in Perovskit-Dünschichten auf ihre Eignung ALS Komponente eines eines ischen in Perovskit-Dünschichten这是一项新的技术开发和优化工程，设计了一种新的技术和技术，并在此基础上进行了设计和实现。

Im Rahmen dieser Forschungsinitiative sollen neuartige mikroelektromechanische Schalter (MEMS) und steuerbare Kapazitäten auf der Basis piezoelektrischer Aktorik sowie thermischer Aktorik in metallodielektrischen Multilagen oder an strukturellen Phasenübergängen für Anwendungen in der Höchstfrequenztechnik entwickelt und untersucht werden. Bei den MEMS mit piezoelektrischer Aktorik geht es um die Adaption bestehender Prozesse auf mikrowellentaugliche Substrate sowie um die Entwicklung mikrowellentauglicher Schalter- und Varaktordesigns. Neben den piezoelektrisch gesteuerten Mikroschaltern sollen rein thermisch angetriebene MEMS auf der Basis von Metall-Metalloxid Multilagen entwickelt und untersucht werden. Diese Variante ist insbesondere im Hinblick auf extrem geringe Mikrowellendissipation durch die ausschließliche Verwendung extrem verlustarmer Materialien von Bedeutung. Der Nachteil der relativ langsamen Schaltzeiten im Bereich von Millisekunden soll durch die Realisierung von nur wenigen Mikrometer großen Strukturen überwunden werden. Bistabile Schalter lassen sich dabei pinzipiell durch mechanisch verschränkte Cantilever mit entgegengesetzter mechanische Verbiegung im Ruhezustand realisieren. Neben der linearen thermischen Ausdehnung als Aktormechanismus sollen strukturelle Phasenübergänge in Perovskit-Dünnschichten auf ihre Eignung als Komponente eines mechanischen Bimaterialschalters untersucht werden. Das Projekt beinhaltet die Entwicklung und Optimierung der notwendigen Mikrofabrikationstechnologien, Designs von höchstfrequenztauglichen Mikromechanik-Bauelementen und deren Implementierung in einfache Höchstfrequenz-Testschaltungen sowie alle relevanten Untersuchungen der Schalt- und Höchstfrequenzeigenschaften.