Einfluß der Mikrostruktur auf die Hochfrequenzeigenschaften von ferroelektrischer Bulk-Keramik und Dünnschichten

微观结构对铁电体陶瓷和薄膜高频性能的影响

• 批准号: 5215642
• 负责人: Dr.-Ing. Ulrich Böttger
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik 2
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5215642?language=en
• 关键词: Einflu; der; Mikrostruktur; auf; die

Im Rahmen des beantragten Projektes sollen die dielektrischen Hochfrequenzeigenschaften von ferroelektrischen Dünnschichten und Keramiken bis zu Frequenzen von 25 GHz in einem Temperaturbereich von 77 K bis 450 K in Abhängigkeit von der Mikrostruktur untersucht werden. Neben dem physikalischen Verständnis der Polarisationsmechanismen in solchen hoch-e-Materialien sind dabei die Einsatzmöglichkeiten in HF-Bauelementen von Interesse. Durch Variation der Prozessparameter werden aus den gleichen Ausgangsmaterialien ferroelektrische Proben mit identischer Stöchiometrie aber unterschiedlicher Mikrostruktur wie Korngröße, Domänenstruktur und Gitterkonstanten präpariert. Die Herstellung erfolgt für dünne Schichten mit Korndurchmessern von 20 nm bis 200 nm via Chemical Solution Deposition und für Keramiken mit Korndurchmessern von 0,2µm und 2µm via Sol Gel-Routen. Darüber hinaus wird die Information über diese Materialien durch begleitende elektrische Charakterisierungen wie Impedanzspektroskopie, Hysterese und Resonanzmessungen vervollständigt.

Im Rahman des Beantragen Projektes Sollen die dielektrischen Hochften von Iron elektrischen Dünschichten and Keramiken bis zu Frenenzen von 25 GHz in einem Temperaturbereich von 77K bis 450 K in ABHänGigkeit von der Mikrostructure untersuht den.偏振下的物理和物理上的变化--在HF-Bauelementen von Interesse中的物理和物理机制。过程参数的变化是Aus den Gleichen Ausganes物质外来铁电三极材料的MIT身份不同于未分立的Mikrostrukture Wie Korngröe，Domänenstrukut and Gitterkonstanten Präpariert。Herstellung erfolgt für dünne Schichten MIT KornduchMessern von 20 nm BIS 200 nm通过化学溶液沉积和für Keramiken MIT KornduchMessern von 0，2微米和2微米通过Sol Gel-Routen。他说：“我们不会给他们的材料提供信息，他们的特点就是他们的行为和行为。