Hartmagnetische Fe-Pt Schichten für mikroelektromechanische Systeme hergestellt mittels elektrochemischer Deposition

使用电化学沉积生产的用于微机电系统的硬磁 Fe-Pt 层

• 批准号: 5442518
• 负责人: Privatdozent Dr. Sebastian Fähler
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2007-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5442518?language=en
• 关键词: Hartmagnetische; Fe; Pt; Schichten; mikroelektromechanische

Die zunehmende Miniaturisierung von mikroelektromechanischen Systemen erfordert neue, verbesserte Werkstoffe. Bei bisherigen elektromechanischen Systemen wurden die hartmagnetischen Komponenten durch das verlustbehaftete Dünnen von massiven Permanentmagneten hergestellt. In den nächsten Jahren werden jedoch Abmessungen im µm-Bereich erwartet, bei denen die Strukturierung von dicken Schichten ökonomischer sein wird. Bei kleiner werdenden Abmessungen treten gleichzeitig die Materialkosten gegenüber den Prozesskosten in den Hintergrund, so dass auch die FePt-Legierung in Betracht kommt. Insbesondere mit der Elektrodeposition kann diese ohne größere Materialverluste effizient deponiert werden. In den Vorarbeiten konnten erstmals isotrope FePt-Schichten mit einem Koerzitivfeld von 1,1 T mittels Elektrodeposition hergestellt werden. Daran anschließend sollen im Rahmen dieses Projektes die hartmagnetischen Eigenschaften solcher elektrochemisch hergestellter Schichten durch Austauschkopplung und Texturierung entscheidend verbessert werden.

微机电系统的微型化是一个新的、非常重要的工作。Bei bisherigen elektromechanischen Systemen wurden die hartmagnetischen Komponenten durch das verlustfetete Dünnen von Schumen Permanentmagneten hergestellt.在下一个韦尔登，人们将在未来几年内，在经济结构方面，对经济增长的影响将是巨大的。由于材料在后面的过程中会发生变化，因此在Betracht中也会出现FePt-Legierung。采用电沉积的方法可以使材料更加有效地利用韦尔登。在这种电沉积中，通过1.1 T的Koerzitivfeld，可以获得各向同性的FePt-Schichten，这是一种韦尔登。在拉曼光谱中，强磁本征谱的电磁化学性质是通过奥氏体和织构的相互作用韦尔登来实现的。