Hartmagnetische Fe-Pt Schichten für mikroelektromechanische Systeme hergestellt mittels elektrochemischer Deposition

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Die zunehmende Miniaturisierung von mikroelektromechanischen Systemen erfordert neue, verbesserte Werkstoffe. Bei bisherigen elektromechanischen Systemen wurden die hartmagnetischen Komponenten durch das verlustbehaftete Dünnen von massiven Permanentmagneten hergestellt. In den nächsten Jahren werden jedoch Abmessungen im µm-Bereich erwartet, bei denen die Strukturierung von dicken Schichten ökonomischer sein wird. Bei kleiner werdenden Abmessungen treten gleichzeitig die Materialkosten gegenüber den Prozesskosten in den Hintergrund, so dass auch die FePt-Legierung in Betracht kommt. Insbesondere mit der Elektrodeposition kann diese ohne größere Materialverluste effizient deponiert werden. In den Vorarbeiten konnten erstmals isotrope FePt-Schichten mit einem Koerzitivfeld von 1,1 T mittels Elektrodeposition hergestellt werden. Daran anschließend sollen im Rahmen dieses Projektes die hartmagnetischen Eigenschaften solcher elektrochemisch hergestellter Schichten durch Austauschkopplung und Texturierung entscheidend verbessert werden.