Fabrication of metal circuit patterns on resins through soft lithography combined with direct metallization process

通过软光刻结合直接金属化工艺在树脂上制造金属电路图案

• 批准号: 23686107
• 负责人: AKAMATSU Kensuke
• 金额: $ 14.06万
• 依托单位: Konan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23686107/
• 关键词: ソフトリソグラフィー; めっき; ポリイミド; ダイレクトメタリゼーション; 電気めっき; 銅めっき; ダマシン; 表面改質

We have succeeded development of fabrication process for polyimide films with embedded metal circuit patterns through combination of soft lithography and direct metallization process. The mechanism of direct metallization process, involving diffusion and reduction of doped metallic ions in polyimide precursors, has been elucidated, and the facile method for metallization of polymer resins by cost-effective, environmentally-friendly chemical process has been developed. In addition, novel processes for fabrication of polymer substrate containing metal nanoparticles and for metallization of polymer substrate through electrochemical constructive lithography have been also successfully developed.

将软光刻技术与直接金属化技术相结合，成功地开发了嵌入金属电路图案的聚酰亚胺薄膜的制备工艺。阐明了掺杂金属离子在聚酰亚胺前驱体中扩散和还原的直接金属化过程的机理，开发了一种经济、环保、简便的高分子树脂金属化方法。此外，还成功地开发了制备含金属纳米颗粒聚合物衬底的新工艺和利用电化学构造光刻技术实现聚合物衬底金属化的新工艺。

项目成果

電気化学的手法によるポリイミド樹脂表面への金属パターン形成

电化学法在聚酰亚胺树脂表面形成金属图案

• 发表时间: 2013
• 期刊: 工業材料
• 作者: 赤松謙祐;鶴岡孝章;縄舟秀美
• 通讯作者: 縄舟秀美

Design, Structural Analysis and Properties of Metal Nanoparticle/Polymer Nanocomposites prepared by Ion-Doped Precursor Approach

离子掺杂前驱体法制备金属纳米粒子/聚合物纳米复合材料的设计、结构分析及性能

• 发表时间: 2013
• 作者: Kotaro Inada;Satoshi Watanabe;Minoru T. Miyahara;岩永圭太,工藤真二,則永行庸,林潤一郎,古屋謙治;Kensuke Akamatsu
• 通讯作者: Kensuke Akamatsu

金属微粒子/高分子ナノ複合体の精密合成と微細構造制御

金属微粒/聚合物纳米复合材料的精准合成与微观结构控制

• 发表时间: 2012
• 作者: Hisakage FUNABASHI;Shiho OGINO;Mikako SAITO;Hideaki MATSUOKA;赤松謙祐
• 通讯作者: 赤松謙祐

In situ synthesis of metal/polymer nanocomposite thin films on glass substrates by using highly cross-linked polymer matrices with tailorable ion exchange capabilities

• DOI: 10.1039/c3ra46166a
• 发表时间: 2014-01-01
• 期刊: RSC ADVANCES
• 影响因子: 3.9
• 作者: Toda, Isao;Tsuruoka, Takaaki;Akamatsu, Kensuke
• 通讯作者: Akamatsu, Kensuke

電気化学リソグラフィー法によるポリイミド上への銀ダイレクトパターニング

使用电化学光刻在聚酰亚胺上直接形成银图案

• 发表时间: 2011
• 作者: 福本ユリナ;鶴岡孝章;縄舟秀美;赤松謙祐;柳本博
• 通讯作者: 柳本博