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Piezoelectric thin film MEMS with giant shear electromechanical coupling

Piezoelectric thin film MEMS with giant shear electromechanical coupling
具有大剪切机电耦合的压电薄膜 MEMS
批准号：
24760075
负责人：
YANAGITANI Takahiko
金额：
$2.91万
依托单位：
Nagoya Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2012
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24760075/
关键词：
圧電薄膜横波圧電薄膜高感度ＭＥＭＳ巨大横波圧電性窒化アルミニウム薄膜横波応用センサ圧電性評価配向制御イオンビーム支援成膜

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Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition
DOI： 10.1063/1.4769224
发表时间： 2012-12
期刊： Applied Physics Letters
影响因子： 4
作者： [S. Takayanagi;T. Yanagitani;M. Matsukawa]
通讯作者： S. Takayanagi;T. Yanagitani;M. Matsukawa
High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films
高 Tc/高耦合弛豫 PZT 基单晶薄膜
DOI： 10.1063/1.4915947
发表时间： 2015
期刊： J. Appl. Phys.
影响因子： --
作者： [K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani and T. Yamamoto]
通讯作者： T. Yanagitani and T. Yamamoto
“High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range,”
“在 GHz 范围内工作的 PMnN-PZT 薄膜谐振器的高机电耦合”
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa,]
通讯作者： K. Wasa,
Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
通过感应声子的布里渊散射进行快速高超声速测量
DOI： 10.1109/ultsym.2012.0546
发表时间： 2012
期刊： Abstract reviewed, Proc. IEEE Ultrason. Symp.
影响因子： --
作者： [T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa]
通讯作者： M. Matsukawa
共 49 条
    Development of surface acoustic wave piezoelectric films sensors for liquid property measurement
    • 批准号：
      21760049
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      YANAGITANI Takahiko
    • 依托单位：
      Nagoya Institute of Technology