课题基金 / 基金详情

Development of surface acoustic wave piezoelectric films sensors for liquid property measurement

Development of surface acoustic wave piezoelectric films sensors for liquid property measurement
用于液体特性测量的表面声波压电薄膜传感器的开发
批准号：
21760049
负责人：
YANAGITANI Takahiko
金额：
$2.83万
依托单位：
Nagoya Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760049/
关键词：
圧電薄膜センサ圧電薄膜スパッタリング圧電デバイス弾性表面波液体センサZnO薄膜面内配向膜横波励振

项目摘要

项目成果

YANAGITANI Takahiko的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
为了获得剪切型表面声波（SAW）薄膜传感器，我们在硅玻璃衬底上制备了c轴平行取向的ZnO薄膜。利用甚高频电场在薄膜上制备数字间电极，首次对剪切型SAW进行了激发。剪切型SAW在液体中也有传播。最后，通过SAW速度的变化来检测液体电导率的变化。
英文摘要
To obtain shear type surface acoustic wave (SAW) thin film sensor, we fabricated the c-axis parallel oriented ZnO film on silica glass substrate. Shear type SAW was excited at first time, by applying VHF electric field to inter digital electrode fabricated on the film. Moreover, shear type SAW was propagated even in the liquid. Finally, the change of the conductiviy in the liquid was detected from the change of the SAW velocity.
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone
DOI： 10.1250/ast.30.306
发表时间： 2009-07
期刊： Acoustical Science and Technology
影响因子： 0.7
作者： [Y. Yaoi;Kazufumi Yamamoto;Y. Yamato;T. Yanagitani;M. Matsukawa;K. Yamazaki;A. Nagano]
通讯作者： Y. Yaoi;Kazufumi Yamamoto;Y. Yamato;T. Yanagitani;M. Matsukawa;K. Yamazaki;A. Nagano
直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜
线蚀磁控溅射大面积沉积(11-20)取向ZnO压电薄膜
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [川本貴之, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章, 森嘉一, 佐々木昌, 大場正利]
通讯作者： 大場正利
Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone
牛皮质骨纵波速度各向异性和羟基磷灰石取向
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Jpn.J.Appl.Phys. vol.48
影响因子： --
作者： [Y.Yaoi, K.Yamamoto, T.Nakatsuji, T.Yanagitani, M.Matsukawa, K.Yamazaki, A.Nagano]
通讯作者： A.Nagano
Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering
利用布里渊散射观察 ZnO 换能器与同轴微波谐振器的感应声子
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [H.Sano, T Yanagitani, S.Takayanagi, M.Matsukawa, N.Ohtori]
通讯作者： N.Ohtori
共 47 条
    Piezoelectric thin film MEMS with giant shear electromechanical coupling
    • 批准号：
      24760075
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      YANAGITANI Takahiko
    • 依托单位：
      Nagoya Institute of Technology
    海外基金