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Development of surface acoustic wave piezoelectric films sensors for liquid property measurement
用于液体特性测量的表面声波压电薄膜传感器的开发
基本信息
- 批准号：21760049
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2009
- 资助国家：日本
- 起止时间：2009 至 2010
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
To obtain shear type surface acoustic wave (SAW) thin film sensor, we fabricated the c-axis parallel oriented ZnO film on silica glass substrate. Shear type SAW was excited at first time, by applying VHF electric field to inter digital electrode fabricated on the film. Moreover, shear type SAW was propagated even in the liquid. Finally, the change of the conductiviy in the liquid was detected from the change of the SAW velocity.
为了获得剪切型声表面波（SAW）薄膜传感器，我们在石英玻璃衬底上制备了c轴平行取向的ZnO薄膜。首次在薄膜上制作叉指电极，并施加VHF电场，激发出剪切型声表面波。此外，剪切型SAW甚至在液体中传播。最后，从声表面波速度的变化中检测出液体电导率的变化。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone
- DOI：10.1250/ast.30.306
- 发表时间：2009-07
- 期刊：
- 影响因子：0.7
- 作者：Y. Yaoi;Kazufumi Yamamoto;Y. Yamato;T. Yanagitani;M. Matsukawa;K. Yamazaki;A. Nagano
- 通讯作者：Y. Yaoi;Kazufumi Yamamoto;Y. Yamato;T. Yanagitani;M. Matsukawa;K. Yamazaki;A. Nagano
直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜
线蚀磁控溅射大面积沉积(11-20)取向ZnO压电薄膜
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：川本貴之;柳谷隆彦;松川真美;渡辺好章;森嘉一;佐々木昌;大場正利
- 通讯作者：大場正利
Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone
牛皮质骨纵波速度各向异性和羟基磷灰石取向
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y.Yaoi;K.Yamamoto;T.Nakatsuji;T.Yanagitani;M.Matsukawa;K.Yamazaki;A.Nagano
- 通讯作者：A.Nagano
Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering
利用布里渊散射观察 ZnO 换能器与同轴微波谐振器的感应声子
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：H.Sano;T Yanagitani;S.Takayanagi;M.Matsukawa;N.Ohtori
- 通讯作者：N.Ohtori
Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
牛皮质骨纵波速度各向异性与HAp取向的关系
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：K.Yamamoto;T.Nakatsuji;Y.Yaoi;Y.Yamato;T.Yanagitani;M.Matsukawa;K.Yamazaki
- 通讯作者：K.Yamazaki
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