Systematic Studies on the Mechanism Elucidation of Tribromosilane Recovery Reaction for the High Conversion Efficiency
Systematic Studies on the Mechanism Elucidation of Tribromosilane Recovery Reaction for the High Conversion Efficiency
系统研究三溴硅烷回收反应的高转化率机理
批准号：
24760694
负责人：
TOMONO KAZUAKI
金额：
$2.41万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2012
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-04-01 至 2014-03-31
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英文摘要
Tribromosilane recovery reaction of vaporized tetrabromosilane with hydrogen gaseous has been monitored by mean of online gas chromatography in a flow reactor system. The tetrabromosilane conversion was reached to about 50 % at 700 C. An experiment with tetrachlorosilane under the same conditions led to a decrease in tetrachlorosilane conversion efficiency. This demonstrates that recovery reaction from tetrabromosilane to tribromosilane is energetically favorable compared to that of tetrachlorosilane, as predicted from the thermodynamic calculation for the pseudo first order reaction in a flow reactor. Finally, the rate constant for overall recovery reaction at 550 C and 600 C was measured to be 0.0162 /s and 0.128 /s, respectively.
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非水溶媒中でのSiBr4の電気化学的還元によるSi電析
非水溶剂中 SiBr4 电化学还原电沉积 Si
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DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Tomono, H. Furuya, S. Miyamoto, Y. Okamura, M. Sumimoto, Y. Sakata, R. Komatsu, M. Nakayama, 友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,中山雅晴, 友野和哲，飯田龍也，坂口麻由美，中山雅晴, 友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,小川拓朗,宮本成司,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,古屋博敏,宮本成司,小川拓朗,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 古屋博敏,友野和哲,宮本成司,小川拓朗,中山雅晴, 友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,山口亮太,中山雅晴, 宮本成司,小川拓朗,押尚吾,友野和哲,小松隆一,中山雅晴, 小川拓朗,宮本成司,押尚吾,友野和哲,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲，飯田龍也，坂口麻由美，山口亮太，中山雅晴]
通讯作者：
友野和哲，飯田龍也，坂口麻由美，山口亮太，中山雅晴
廃シリコンの化学的精製のための前処理法の開発
废硅化学提纯预处理方法的研制
废硅化学提纯预处理方法的研制
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
作者：
[G. Kawamura, M. Kobayashi, S. Dai, K. Mukai, R. Sano, B. Peterson, Y. Feng, 友野和哲,宮本成司,古屋博敏,岡村優樹,小松隆一,中山雅晴]
通讯作者：
友野和哲,宮本成司,古屋博敏,岡村優樹,小松隆一,中山雅晴
DOI：
10.1016/j.mssp.2014.02.045
发表时间：
2014
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
影响因子：
4.1
作者：
[Masaharu Nakayama, Miyamoto Seiji, Takuro Ogawa, Shogo Osae, Kazuaki Tomono, Sumimoto Michinori, Yoshihisa Sakata, Ryuichi Komatsu]
通讯作者：
Ryuichi Komatsu
非水溶媒中でのSiBr_4の電気化学的還元によるSi電析
非水溶剂中 SiBr_4 电化学还原电沉积 Si
非水溶剂中 SiBr_4 电化学还原电沉积 Si
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Tomono, H. Furuya, S. Miyamoto, Y. Okamura, M. Sumimoto, Y. Sakata, R. Komatsu, M. Nakayama, 友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,中山雅晴, 友野和哲，飯田龍也，坂口麻由美，中山雅晴, 友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,小川拓朗,宮本成司,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,古屋博敏,宮本成司,小川拓朗,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 古屋博敏,友野和哲,宮本成司,小川拓朗,中山雅晴, 友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,山口亮太,中山雅晴]
通讯作者：
友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,山口亮太,中山雅晴
ブロモシラン生成反応を用いた廃シリコンスラッジの前処理方法の開発
溴硅烷生产反应预处理废硅污泥方法的开发
溴硅烷生产反应预处理废硅污泥方法的开发
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Tomono, H. Furuya, S. Miyamoto, Y. Okamura, M. Sumimoto, Y. Sakata, R. Komatsu, M. Nakayama, 友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,中山雅晴, 友野和哲，飯田龍也，坂口麻由美，中山雅晴, 友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,小川拓朗,宮本成司,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,古屋博敏,宮本成司,小川拓朗,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲,宮本成司,小川拓朗,古屋博敏,小松隆一,中山雅晴, 古屋博敏,友野和哲,宮本成司,小川拓朗,中山雅晴, 友野和哲,飯田龍也,坂口麻由美,山口亮太,中山雅晴, 宮本成司,小川拓朗,押尚吾,友野和哲,小松隆一,中山雅晴, 小川拓朗,宮本成司,押尚吾,友野和哲,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲，飯田龍也，坂口麻由美，山口亮太，中山雅晴, 宮本成司，小川拓朗，押尚吾，友野和哲，小松隆一，中山雅晴, 小川拓朗，宮本成司，押尚吾，友野和哲，小松隆一，中山雅晴, 友野和哲，宮本成司，小川拓朗，古屋博敏，小松隆一，中山雅晴, 友野和哲，古屋博敏，宮本成司，小川拓朗，小松隆一，中山雅晴, 友野和哲・古屋博敏・宮本成司・小川拓朗・小松隆一・中山雅晴, 友野和哲,古屋博敏,宮本成司,小川拓朗,小松隆一,中山雅晴, 友野和哲・宮本成司・古屋博敏・小川拓朗・小松隆一・中山雅晴]
通讯作者：
友野和哲・宮本成司・古屋博敏・小川拓朗・小松隆一・中山雅晴
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