Development of in-situ three-dimensional shape measurement method by tilt-ellipsometry
Development of in-situ three-dimensional shape measurement method by tilt-ellipsometry
批准号:
25390089
负责人:
Tsuru Toshihide
金额:
$3.33万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2013
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2013-04-01 至 2016-03-31
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4検出器法による高速偏光計測システムの開発
四探测器法高速偏振测量系统的研制
DOI:
--
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
作者:
[石澤倫, 津留俊英]
通讯作者:
津留俊英
エリプソメトリーによる3次元形状計測のための偏光照明法
使用椭圆光度法进行 3D 形状测量的偏振照明方法
DOI:
--
发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
作者:
[小川広暉, 津留俊英]
通讯作者:
津留俊英
液晶可変リターダーの光学特性評価
液晶可变延迟器的光学性能评价
DOI:
--
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
作者:
[大沼穂乃花, 石澤美希, 石澤倫, 津留俊英]
通讯作者:
津留俊英
4検出器法による液晶可変リターダーの光学特性評価
四探测器法评价液晶可变延迟器的光学特性
DOI:
--
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
作者:
[石澤倫, 津留俊英, Mitsunori Toyoda,Kenjiro Yamasoe,Akifumi Tokimasa,Kentaro Uchida,Tetsuo Harada,Tsuneo Terasawa,Tsuyoshi Amano,Takeo Watanabe,Mihiro Yanagihara,Hiroo Kinoshita, 津留俊英]
通讯作者:
津留俊英
4検出器型偏光計の高精度化と高速化
4检测器旋光仪精度更高、速度更快
DOI:
--
发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
--
作者:
[石澤倫, 津留俊英]
通讯作者:
津留俊英
共 11 条
Development of micro-ellipsometer for precise measurement of refractive index, and its application to tephrochronology
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批准号:16K12805
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项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额:$2.25万
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财政年份:2016
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负责人:Tsuru Toshihide
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依托单位:
海外基金