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Development of three-dimensional nano-processing technique using the swelling phenomenon of crystal materials with highly-charged ion beams

Development of three-dimensional nano-processing technique using the swelling phenomenon of crystal materials with highly-charged ion beams
利用高电荷离子束晶体材料的膨胀现象开发三维纳米加工技术
批准号：
25420061
负责人：
Momota Sadao
金额：
$2.83万
依托单位：
Kochi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25420061/
关键词：
微細加工技術半導体結晶材料ナノ材料科学粒子ビーム科学3次元ナノ加工イオンビーム結晶材料３次元ナノ加工

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The application of Si lateral expansion induced by ion beam implantation in miro-/nanostructure modification
离子束注入诱导硅横向膨胀在微纳结构改性中的应用
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [Xiaowei Guo, 百田佐多生, 新田紀子, 前田一樹]
通讯作者： 前田一樹
Lateral Deformation of a Silicon Crystal Surface Structure Induced by Low-Fluence Ion-Beam Irradiation
低通量离子束辐照引起的硅晶体表面结构的横向变形
DOI： --
发表时间： 2015
期刊： e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
影响因子： 0.7
作者： [X. Guo, S. Momota, N. Nitta, K. Maeda]
通讯作者： K. Maeda
Modification of Surface Profile by means of Ion-Beam Induced Expansion Effect on Crystal Materials
通过离子束诱导膨胀效应对晶体材料进行表面轮廓改性
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [百田佐多生, Jianguo Zhang , Xiaowei Guo]
通讯作者： Xiaowei Guo
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低注量离子束辐照对晶体硅表面纳米结构的形貌修饰
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [X. Guo, S. Momota, N. Nitta, K. Maeda, N. Sato, H. Tokaji]
通讯作者： H. Tokaji
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