Elucidation of polishing mechanism by visualization of microscale slurry flow
Elucidation of polishing mechanism by visualization of microscale slurry flow
通过微观浆料流动的可视化阐明抛光机制
批准号：
15K05743
负责人：
Fukuda Akira
金额：
$2.66万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
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Microscale Circulation Flow of Slurry in Polishing Pad Asperities
抛光垫凹凸处浆料的微尺度循环流动
抛光垫凹凸处浆料的微尺度循环流动
DOI：
10.2493/jjspe.84.182
发表时间：
2018
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
影响因子：
--
作者：
[大木隆太, 安原鋭幸, 雨宮隆, 安原鋭幸, 新谷一博，小林卓也，他, 新谷一博，小林卓也，中井 遥，川原範夫 他, 瀨川 歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫, 駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄, 米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真, 佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍, 小林卓也，新谷一博 他, 川上秀彬，新谷一博 他, 中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫 他, 小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫 他, 福田 明]
通讯作者：
福田 明
Method for Slurry Flow Visualization in Polishing Pad Asperities
抛光垫凹凸处的浆料流动可视化方法
抛光垫凹凸处的浆料流动可视化方法
DOI：
10.2493/jjspe.83.173
发表时间：
2017
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
影响因子：
--
作者：
[大木隆太, 安原鋭幸, 雨宮隆, 安原鋭幸, 新谷一博，小林卓也，他, 新谷一博，小林卓也，中井 遥，川原範夫 他, 瀨川 歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫, 駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄, 米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真, 佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍, 小林卓也，新谷一博 他, 川上秀彬，新谷一博 他, 中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫 他, 小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫 他, 福田 明, 福田 明，御手洗 真人]
通讯作者：
福田 明，御手洗 真人
CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化（第3報）ウェーハ・研磨パッド間凹凸領域における循環流れの存在について
CMP中晶圆和抛光垫之间浆料流动的可视化（第三次报告）关于晶圆和抛光垫之间不平坦区域中循环流的存在
CMP中晶圆和抛光垫之间浆料流动的可视化（第三次报告）关于晶圆和抛光垫之间不平坦区域中循环流的存在
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[大木隆太, 安原鋭幸, 雨宮隆, 安原鋭幸, 新谷一博，小林卓也，他, 新谷一博，小林卓也，中井 遥，川原範夫 他, 瀨川 歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫, 駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄, 米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真, 佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍, 小林卓也，新谷一博 他, 川上秀彬，新谷一博 他, 中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫 他, 小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫 他, 福田 明, 福田 明，御手洗 真人, 福田 明，秀毛春也，山縣 翔，渡辺健介]
通讯作者：
福田 明，秀毛春也，山縣 翔，渡辺健介
CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化（第2報）パッド摩耗の影響の可視化に関する試み
CMP 中晶圆和抛光垫之间浆料流动的可视化（第二份报告） 尝试可视化垫磨损的影响
CMP 中晶圆和抛光垫之间浆料流动的可视化（第二份报告） 尝试可视化垫磨损的影响
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[大木隆太, 安原鋭幸, 雨宮隆, 安原鋭幸, 新谷一博，小林卓也，他, 新谷一博，小林卓也，中井 遥，川原範夫 他, 瀨川 歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫, 駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄, 米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真, 佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍, 小林卓也，新谷一博 他, 川上秀彬，新谷一博 他, 中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫 他, 小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫 他, 福田 明, 福田 明，御手洗 真人, 福田 明，秀毛春也，山縣 翔，渡辺健介, 福田 明，石田 士，潮田拓海]
通讯作者：
福田 明，石田 士，潮田拓海
Status in the prevalence of antimicrobial-resistant bacteria among healthy people as reservoir
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批准号：19K21486
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项目类别：Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
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资助金额：$1.91万
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财政年份：2018
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负责人：Fukuda Akira
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依托单位：
Enhancing material removal rate in polishing through control and optimization of micro slurry circulation flow
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批准号：18K03893
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.75万
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财政年份：2018
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负责人：Fukuda Akira
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依托单位：
Development of Acoustic Vehicle Sensing System Using Sidewalk Stereo Microphones
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批准号：17K19983
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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资助金额：$3.99万
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财政年份：2017
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负责人：Fukuda Akira
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依托单位：
High-speed data collection protocol for sensor networks with robust under wireless LAN environment
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批准号：15K12021
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$2.16万
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财政年份：2015
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负责人：Fukuda Akira
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依托单位：