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Elucidation of polishing mechanism by visualization of microscale slurry flow

通过微观浆料流动的可视化阐明抛光机制

基本信息

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抛光垫凹凸处浆料的微尺度循环流动

DOI：
10.2493/jjspe.84.182
发表时间：
2018
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
影响因子：
0
作者：
大木隆太;安原鋭幸;雨宮隆;安原鋭幸;新谷一博，小林卓也，他;新谷一博，小林卓也，中井遥，川原範夫　他;瀨川　歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫;駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄;米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真;佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍;小林卓也，新谷一博　他;川上秀彬，新谷一博　他;中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫　他;小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫　他;福田　明
通讯作者：
福田　明

抛光垫凹凸处的浆料流动可视化方法

DOI：
10.2493/jjspe.83.173
发表时间：
2017
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
影响因子：
0
作者：
大木隆太;安原鋭幸;雨宮隆;安原鋭幸;新谷一博，小林卓也，他;新谷一博，小林卓也，中井遥，川原範夫　他;瀨川　歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫;駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄;米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真;佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍;小林卓也，新谷一博　他;川上秀彬，新谷一博　他;中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫　他;小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫　他;福田　明;福田明，御手洗真人
通讯作者：
福田明，御手洗真人

CMP中晶圆和抛光垫之间浆料流动的可视化（第三次报告）关于晶圆和抛光垫之间不平坦区域中循环流的存在

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
0
作者：
大木隆太;安原鋭幸;雨宮隆;安原鋭幸;新谷一博，小林卓也，他;新谷一博，小林卓也，中井遥，川原範夫　他;瀨川　歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫;駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄;米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真;佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍;小林卓也，新谷一博　他;川上秀彬，新谷一博　他;中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫　他;小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫　他;福田　明;福田明，御手洗真人;福田明，秀毛春也，山縣　翔，渡辺健介
通讯作者：
福田明，秀毛春也，山縣　翔，渡辺健介

CMP 中晶圆和抛光垫之间浆料流动的可视化（第二份报告）尝试可视化垫磨损的影响

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
大木隆太;安原鋭幸;雨宮隆;安原鋭幸;新谷一博，小林卓也，他;新谷一博，小林卓也，中井遥，川原範夫　他;瀨川　歩，新谷一博，田中隆斗，北村鈴香，川原範夫;駒見宏輔，山田のどか，新谷一博，兼氏歩，桝井伸栄;米澤克隆，川口真史，兼氏歩，川原範夫，河村佳江，飯沼由嗣，新谷一博，小田忍，瀧真;佐々本丈嗣，川口真史，米澤克隆，兼氏歩，川原範夫，新谷一博，小田忍;小林卓也，新谷一博　他;川上秀彬，新谷一博　他;中井遥，新谷一博，小林卓也，川原範夫　他;小林卓也，新谷一博，中井遥，川原範夫　他;福田　明;福田明，御手洗真人;福田明，秀毛春也，山縣　翔，渡辺健介;福田明，石田　士，潮田拓海
通讯作者：
福田明，石田　士，潮田拓海

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Android 上间歇性禁用网络接口节省电量的 BET 估算

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
J. of Information Processing
影响因子：
0
作者：
Murakami Tsubasa;Kamiyama Takeshi;Fukuda Akira;Oguchi Masato;Yamaguchi Saneyasu
通讯作者：
Yamaguchi Saneyasu

低功耗蓝牙分离通道指纹识别的设计和初步评估

DOI：
10.1007/978-3-319-70636-8_2
发表时间：
2018
期刊：
New Trends in E-Service and Smart Computing, Studies in Computational Intelligence, Springer
影响因子：
0
作者：
Ishida Shigemi;Takashima Yoko;Tagashira Shigeaki;Fukuda Akira
通讯作者：
Fukuda Akira

超低温高磁场ESR/NMR双磁共振系统的开发及其在轻掺杂31P硅片测量中的应用

DOI：
10.1007/s00723-021-01309-2
发表时间：
2021
期刊：
Applied Magnetic Resonance
影响因子：
1
作者：
Ishikawa Yuya;Fujii Yutaka;Fukuda Akira;Koizumi Yuta;Omija Tsunehiro;Oida Tomoki;Yamamori Hidetomo;Matsubara Akira;Mitsudo Seitaro;Lee Soonchil;J¨arvinen Jarno;Vasiliev Sergey
通讯作者：
Vasiliev Sergey

Ble 2步分离通道指纹识别的设计

DOI：
10.1109/vtc2020-spring48590.2020.9128872
发表时间：
2020
期刊：
IEEE Vehicular Technology Conference (VTC2020-Spring)
影响因子：
0
作者：
Yamamoto Takahiro;Ishida Shigemi;Kimoto Ryota;Tagashira Shigeaki;Fukuda Akira
通讯作者：
Fukuda Akira