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Large-size clusterization of heavily-doped degenerate CVD diamond layer and its functional device application

Large-size clusterization of heavily-doped degenerate CVD diamond layer and its functional device application
重掺杂简并CVD金刚石层大尺寸团簇及其功能器件应用
批准号：
15H03557
负责人：
Ito Toshimichi
金额：
$11.07万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03557/
关键词：
CVDダイヤモンドマイクロ波プラズマCVDワイドギャップ半導体不純物ドーピングCVD製膜装置p型半導体CVD成膜装置ｐ型半導体マイクロ波プラズマＣＶＤＣＶＤ成膜装置成膜装置

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发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： 伊藤利道
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发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： 丸岡 憲史，内藤 大樹，毎田 修，伊藤 利道
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发表时间： 2017
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影响因子： --
作者： [K. Maruoka, T. Naito, O. Maida, T. Ito]
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发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [O. Maida, T. Tabuchi and T. Ito]
通讯作者： T. Tabuchi and T. Ito
共 17 条
    Restoration of negative electron affinity feature on high-quality diamond surfaces using liquid process
    • 批准号：
      26600085
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Ito Toshimichi
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金