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Development of surface process technology with high speed and no damage by huge composite cluster
大型复合材料簇高速无损伤表面加工技术开发
基本信息
- 批准号：15H04157
- 负责人：
- 金额：$ 8.99万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2015
- 资助国家：日本
- 起止时间：2015-04-01 至 2018-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Reactive etching with ClF3-Ar neutral cluster beam
使用 ClF3-Ar 中性簇束进行反应蚀刻
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T.Seki;M. Kusakari;M. Fujii;T. Aoki and J. Matsuo
- 通讯作者：T. Aoki and J. Matsuo
ClF3 中性クラスタービームによる斜めエッチング
ClF3 中性簇束倾斜蚀刻
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：小槻 日出夫;池野 豪一;山田 幾也;八木 俊介;214.瀬木 利夫,山本 洋揮,古澤 孝弘,吉野 裕,妹尾 武彦,小池 国彦,青木 学聡,松尾 二郎
- 通讯作者：214.瀬木 利夫,山本 洋揮,古澤 孝弘,吉野 裕,妹尾 武彦,小池 国彦,青木 学聡,松尾 二郎
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吉田 広志
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H. Murakawa
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- DOI：
- 发表时间：
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- 影响因子：0
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Hada Masaki;Makino Kotaro;Inoue Hirotaka;Hasegawa Taisuke;Masuda Hideki;Suzuki Hiroo;Shirasu Keiichi;Nakagawa Tomohiro;Seki Toshio;Matsuo Jiro;Nishikawa Takeshi;Yamashita Yoshifumi;Koshihara Shin-ya;Stolojan Vlad;Silva S. Ravi P.;Fujita Jun-ichi;Hayashi Y;吉田 広志;林香里 - 通讯作者：
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