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Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen

用于测量微系统和纳米结构的图像处理显微镜的多功能校准标准的热冲压

基本信息

批准号：
5435988
负责人：
Professor Dr.-Ing. Eduard Reithmeier
金额：
--
依托单位：
Institut für Mess- und Regelungstechnik (IMR)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2006-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5435988?language=en
关键词：
Hei pr gen multifunktionaler Kalibriernormale

项目摘要

Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung technologischer Grundlagen für die Herstellung und Anwendung multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope im Bereich der Mikrosystem- und Nanotechnik durch Heißprägen von Kunststoffen. Idee des Vorhabens ist, fertigungsumgebungsgerechte Kalibriernomale mit folgenden grundlegenden Charakteristika abzuformen: Kalibriernormale in Anlehnung an ISO 5436-1 (zur Sicherstellung der Rückführbarkeit), Normale mit Standardformelementen aus der Mikrosystem- und Nanotechnik sowie Normale zur Prüfung physikalischer und gerätetechnischer Grenz- und Problembereiche bildverarbeitender Mikroskope. Zentraler Forschungsschwerpunkt ist die unter physikalisch und fertigungstechnischen Gesichtspunkten sinnvolle Kombination vorhandener bzw. neu zu gestaltender und neuartiger Primärnormale auf Silizium-Wafer-Basis sowie die Beherrschung des anschließenden Abformprozesses in thermoplastische Kunststoffe durch einen einstufigen oder mehrstufigen Prägeprozess geometrischer Strukturen. Der besondere Vorteil des Heißprägens liegt in der Kombination von Primärnormalen, die aus unterschiedlichen, auch mechanisch empfindlichen Werkstoffen (wie Silizium-Wafer) bestehen können. Erst durch Abformung derartig empfindlicher Primärwerkstoffe entstehen geeignete "robuste" Kalibriernormale für den fertigungsnahen Einsatz. Anwenderorientierte Richtlinien sollen darüber hinaus die Verwendung der Sekundärnormale zur Kalibrierung bildverarbeitender Mikroskope erleichtern bzw. festlegen.

Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung technologischer Grundlagen für die Herstellung und Anwendung multifunctionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope im Bereich der Mikrosystem- und Nanotechnik durch Heißprägen von Kunststoffen.概念的Vorhabens ist，fertigungsumgebungsgerechte Kalibriernomale mit folgenden grundelden Charakteristika abzuformen：Kalibriernomale in Anlehnung an ISO 5436-1（zur Sicherstellung der Rückführbarkeit），Normale mit Standardformelementen aus der Mikrosystem- und Nanotechnik sowie Normale zur Prüfung physikalischer und gerätetechnischer Grenz- und Problembereiche bildverarbeitender Mikroskope.研究中心是一个物理和技术综合体。neu zu gestaltender and neuartiger Primärnormale auf Silizium-Wafer-Basis sowie die Beherrschung des anschließenden Abformprozesses in thermoplastische Kunststoffe durch einen einstufigen oder mehrstufigen Prägeprozess geotrischer Strukturen。在初级标准化的组合中，最重要的是高纯度产品，这些产品的独特之处在于，其机械结构也是最好的。Erst durch Abformung derartig empfindlicher Primärwerkstoffe entsteihen geeignete“robuste”Kalibriernomale für den fertigungsnahen Einstein. Anwenderorientierte Richtlinien sollen darüber hinaus die Verwendung der Sekundärnormale zur Kalibrierung bildverarbeitender Mikroskope erleichtern bzw. festlegen。