Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen

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Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung technologischer Grundlagen für die Herstellung und Anwendung multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope im Bereich der Mikrosystem- und Nanotechnik durch Heißprägen von Kunststoffen. Idee des Vorhabens ist, fertigungsumgebungsgerechte Kalibriernomale mit folgenden grundlegenden Charakteristika abzuformen: Kalibriernormale in Anlehnung an ISO 5436-1 (zur Sicherstellung der Rückführbarkeit), Normale mit Standardformelementen aus der Mikrosystem- und Nanotechnik sowie Normale zur Prüfung physikalischer und gerätetechnischer Grenz- und Problembereiche bildverarbeitender Mikroskope. Zentraler Forschungsschwerpunkt ist die unter physikalisch und fertigungstechnischen Gesichtspunkten sinnvolle Kombination vorhandener bzw. neu zu gestaltender und neuartiger Primärnormale auf Silizium-Wafer-Basis sowie die Beherrschung des anschließenden Abformprozesses in thermoplastische Kunststoffe durch einen einstufigen oder mehrstufigen Prägeprozess geometrischer Strukturen. Der besondere Vorteil des Heißprägens liegt in der Kombination von Primärnormalen, die aus unterschiedlichen, auch mechanisch empfindlichen Werkstoffen (wie Silizium-Wafer) bestehen können. Erst durch Abformung derartig empfindlicher Primärwerkstoffe entstehen geeignete "robuste" Kalibriernormale für den fertigungsnahen Einsatz. Anwenderorientierte Richtlinien sollen darüber hinaus die Verwendung der Sekundärnormale zur Kalibrierung bildverarbeitender Mikroskope erleichtern bzw. festlegen.