Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen

用于测量微系统和纳米结构的图像处理显微镜的多功能校准标准的热冲压

基本信息

批准号：
5435988
负责人：
Professor Dr.-Ing. Eduard Reithmeier
金额：
--
依托单位：
Institut für Mess- und Regelungstechnik (IMR)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2006-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5435988?language=en
关键词：
Hei pr gen multifunktionaler Kalibriernormale

项目摘要

Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung technologischer Grundlagen für die Herstellung und Anwendung multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope im Bereich der Mikrosystem- und Nanotechnik durch Heißprägen von Kunststoffen. Idee des Vorhabens ist, fertigungsumgebungsgerechte Kalibriernomale mit folgenden grundlegenden Charakteristika abzuformen: Kalibriernormale in Anlehnung an ISO 5436-1 (zur Sicherstellung der Rückführbarkeit), Normale mit Standardformelementen aus der Mikrosystem- und Nanotechnik sowie Normale zur Prüfung physikalischer und gerätetechnischer Grenz- und Problembereiche bildverarbeitender Mikroskope. Zentraler Forschungsschwerpunkt ist die unter physikalisch und fertigungstechnischen Gesichtspunkten sinnvolle Kombination vorhandener bzw. neu zu gestaltender und neuartiger Primärnormale auf Silizium-Wafer-Basis sowie die Beherrschung des anschließenden Abformprozesses in thermoplastische Kunststoffe durch einen einstufigen oder mehrstufigen Prägeprozess geometrischer Strukturen. Der besondere Vorteil des Heißprägens liegt in der Kombination von Primärnormalen, die aus unterschiedlichen, auch mechanisch empfindlichen Werkstoffen (wie Silizium-Wafer) bestehen können. Erst durch Abformung derartig empfindlicher Primärwerkstoffe entstehen geeignete "robuste" Kalibriernormale für den fertigungsnahen Einsatz. Anwenderorientierte Richtlinien sollen darüber hinaus die Verwendung der Sekundärnormale zur Kalibrierung bildverarbeitender Mikroskope erleichtern bzw. festlegen.

grundlegen是kalibrier normale的多firundionary体验，它是bidverarbeiten，是bereich der mikrosystem-und nanotechnik durchnik durchnik durchheißprägenvon von von von von von kunststoffen。我们致力于Vorhabens，并正在减轻Grundlegenden Charakteristika abzuformen：Anlehnung ISO 5436-1的Kalibrier Normale（Zur SurserstellungderRückführbarkeit） Gerätetechnischergrenz- und QualiseBereiche bildverarbeitender mikroskope。 Zentraler Forschungsschwerpunkt是第一个死于肥料和肥料Gesichtspunkten Sinnvolle Kombination vorhandener bzw。 Primärnormaleauf silizium-wafer-basis是Sowie Die beherrschung desanschließendenabformprozesses，在全球热量量质合kunststoffe durch einen einstufigen中。 primärnormaledesHeißprägensliegtvonprimärnormaleDie，Die Aus unterschiedlichen，Auchnegrionisch empfindlichen werkstoffen（wie silizium-wafer）besteen besteenkönnen。 Est durch abformung derartig empfindlicherprimärwerkstoffeentstehen geeignete“ robuste” kalibriernormalefürdenden forfigungsnormale fortigungsnahen einsatz。 anwenderorientierte richtlinien sollendarüberhinaus die verwendung dersekundärnormalezur zur kalibierung bildverareung bildverararbeitender mikroskope erleichtern bzw. Festlegen。