Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen

研究人员在研究微系统和纳米技术方面取得了突破性进展，并在研究领域取得了突破性进展。(1)在Anlehnung和ISO 5436-1 (zur Sicherstellung der rckf<e:1> barkeit), Normale mit standard formementen der microsystem - and Nanotechnik sowie Normale zur prpr<e:1> physikalischer and gerätetechnischer Grenz- und Problembereiche bildverarbeitender microskope。中央区Forschungsschwerpunkt ist die unkalisch and fertigungsthnhnischen Gesichtspunkten sinnvolle组合vorhandener bzw。new zu gestaltender and neutiger Primärnormale auf硅晶片基soif Beherrschung des anschließenden热塑性成型工艺Kunststoffe durch enenenstitute odermehrstufigen Prägeprozess几何结构学Strukturen。Der besondere Vorteil des Heißprägens liegel in Der komination von Primärnormalen, die aus unterschiedlichen，每种机制empfindlichen Werkstoffen (wie Silizium-Wafer) bestehen können。Erst durch Abformung derartig empfindlicher Primärwerkstoffe entstehen geeignete "robuste" Kalibriernormale f<e:1> r den fertigungsnahen Einsatz。[3] [1] [3] [1] [3] [1] [4] [1] [4] [1] [4] [1] [4]festlegen。

Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung technologischer Grundlagen für die Herstellung und Anwendung multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope im Bereich der Mikrosystem- und Nanotechnik durch Heißprägen von Kunststoffen. Idee des Vorhabens ist, fertigungsumgebungsgerechte Kalibriernomale mit folgenden grundlegenden Charakteristika abzuformen: Kalibriernormale in Anlehnung an ISO 5436-1 (zur Sicherstellung der Rückführbarkeit), Normale mit Standardformelementen aus der Mikrosystem- und Nanotechnik sowie Normale zur Prüfung physikalischer und gerätetechnischer Grenz- und Problembereiche bildverarbeitender Mikroskope. Zentraler Forschungsschwerpunkt ist die unter physikalisch und fertigungstechnischen Gesichtspunkten sinnvolle Kombination vorhandener bzw. neu zu gestaltender und neuartiger Primärnormale auf Silizium-Wafer-Basis sowie die Beherrschung des anschließenden Abformprozesses in thermoplastische Kunststoffe durch einen einstufigen oder mehrstufigen Prägeprozess geometrischer Strukturen. Der besondere Vorteil des Heißprägens liegt in der Kombination von Primärnormalen, die aus unterschiedlichen, auch mechanisch empfindlichen Werkstoffen (wie Silizium-Wafer) bestehen können. Erst durch Abformung derartig empfindlicher Primärwerkstoffe entstehen geeignete "robuste" Kalibriernormale für den fertigungsnahen Einsatz. Anwenderorientierte Richtlinien sollen darüber hinaus die Verwendung der Sekundärnormale zur Kalibrierung bildverarbeitender Mikroskope erleichtern bzw. festlegen.