Determination of robust reference planes and data correction for the 3D roughness measurement with optical surface profilers

使用光学表面轮廓仪确定稳健的参考平面并进行 3D 粗糙度测量的数据校正

• 批准号: 5402104
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Eduard Reithmeier
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mess- und Regelungstechnik (IMR)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5402104?language=en
• 关键词: Determination; robust; reference; planes; data

Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung von Grundlagen für den Einsatz bildverarbeitender Mikroskope zur dreidimensionalen Rauheitsmessung in den Entwicklungsbereichen des Maschinenbaus. Ziel ist es, Voraussetzungen für eine schnelle und berührungslose Messung zu schaffen, um die durch moderne Fertigungsverfahren heute mögliche gezielte Gestaltung der Mikrostruktur zur Optimierung der Funktionsflächen zu unterstützen. Zentrale Arbeitsschwerpunkte sind die Ermittlung sinnvoller Messbedingungen und die Entwicklung der Signalverarbeitung (Bezugsflächenbildung) für möglichst kleine optische Gesamtmessflächen, um eine sichere Rauheitsauswertung bei minimalem Stitching-Aufwand zu erreichen. Die Ausgangsbasis soll durch wissenschaftliche Untersuchungen der bekannten 3D-Signalverarbeitungsverfahren (M-System) zur Problematik kleiner Messflächen gewonnen werden. Neben speziellen Modifikationen der Verfahren sind besonders robuste Algorithmen zu entwerfen, da sich Ausreißer und "Störelemente" auf kleinen Flächen stark verfälschend auswirken. Ziel ist ein Softwarewerkzeug für die Zuordnung der geeigneten Signalverarbeitung zu der zu messenden Oberfläche. Ein weiteres Ziel besteht in der sicheren Behebung von Fehlstellen bei optischen Messungen durch neu entwickelte Algorithmen, mit denen eine Restauration der Oberfläche durch Informationsverarbeitung aus der Umgebung erreicht wird. Ergebnis des Vorhabens sind Werkzeuge zur Signalverarbeitung als Basis für den Einsatz bildverarbeitender Mikroskope zur 3D-Rauheitsmessung im Maschinenbau.

Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung von Grundlagen für den Einquirbildverarbeitender Mikroskope zur dreidimensionalen Rauheitsmessung in den Entwicklungsbereichen des Maschinenbaus. Ziel is es，Voraussetzungen für eine schnelle und berührungslose Messung zu schaffen，um die durch moderne Fertigungsverfahren heute mögliche gezielte Gestaltung der Mikrostruktur zur Optimmierung der Funktionsflächen zu unterstützen. Zentrale Arbeitsschwerpunkte sind die Ermittlung sinnvoller Messbedingungen und die Entwicklung der Signalverarbeitung（Bezugsflächenbildung）für möglichst kleine optmessflächen，um eine sichere Rauheitsauswertung bei minimalem Stitching-Aufwand zu erreichen.该方法的基础是通过对3D信号处理（M系统）的科学研究来解决韦尔登的小问题。Neben speziellen Modifikationen der Verfahren sind besonders robuste modifikationen zu entwerfen，da sich Ausreißer und“Störelemente”auf kleinen Flächen stark verfälschend auschen. Ziel ist ein Softwarewerkzeug für die Zuordnung der geigneten Signalverarbeitung zu der zu messenden Oberfläche.一个weiteres Ziel besteht in der sicheren Behebung von Fehlstellen bei optischen Messungen durch neu entwickelte messumen，mit denen eine Restauration der Oberfläche durch Informationsverarbeitung aus der Umgebung erreicht wird. Ergebnis des Vorhabens sind Werkzeuge zur Signalverarbeitung als Basis für den Einquirbildverarbeitender Mikroskope zur 3D-Rauheitsmesung im Maschinenbau.