Vergleichbare Messergebenisse bei der Messung nicht-geometrischer Größen (Hydrophilie von mikroskopischen Bereichen) in der Mikrotechnik durch Bereitstellung von validierten Verfahren und Referenzproben

聚合物的亲水性或疏水性的测量是微技术中的一个重要问题。微流控系统是以聚合物为基础的解决方案，是生物分析、医学技术或综合化学领域的基础。Das Verhalten solcher Bauteile gegenüber Flüssigkeiten ist entscheidend für ihre Funktionalität.因此，Kapillarkräften的重新安装和维护是Mikrofluidik中的一个愤怒的Ziele。上部微系统技术的亲水性不能梅尔地使用由Randwinkelmessungen韦尔登测量的涡轮增压器，只能使用由500 µm的涡轮增压器组成的韦尔登。因此，必须建立和鉴定韦尔登性和亲水性的测试方法，该方法也适用于500 µm的结构件。亲水性和疏水性与上表面的化学反应有关，这个问题可以通过对上表面韦尔登的相关化学功能进行定量测定来解决。因此，采用光电光谱法和质量光谱法测量一个韦尔登，测量15 µm波长的结构。0.1 µm auflösen können.这是一个很难解决的问题，即通过光电光谱和激光质谱的化学功能组的测量，对聚碳酸酯和聚甲基丙烯酸甲酯的微技术进行亲水性或疏水性的测量。在参考信号韦尔登的帮助下，该系统可以解决问题，而在“Makrowelt”确定的方法中，通过Randwinkelmessungen的Oberflächenspannung进行的Hydrophilie则是最好的沃登。在这场战争中，我们可以在微型技术韦尔登中取得胜利。《测量不确定度表示指南》（GUM）将对测量不确定度进行评定。Die Lösung des Problems der Estimmung der Hydrophilie（oder Hydrophobie）mikroskopischer Oberflächenbereiche von mikrotechnisch hergestellten Bauteilen eröffnet neue Wege，diese Eigenschaft zu kontrollieren und die Qualität der Bauteile im Fertigungsprozess zu steigern und zu sichern.

Die Messung von Hydrophilie oder Hydrophobie an Oberflächen von Polymerbauteilen ist ein wichtiges Problem in der Mikrotechnik. Mikrofluidische Systeme, insbesondere solche auf Polymerbasis, sind Grundlage von Bauteilen in Anwendungsfeldern wie Bioanalytik, Medizintechnik oder der kombinatorischen Chemie. Das Verhalten solcher Bauteile gegenüber Flüssigkeiten ist entscheidend für ihre Funktionalität. So ist die reproduzierbare Einstellung und Nutzung von Kapillarkräften eines der angestrebten Ziele in der Mikrofluidik. Die Hydrophilie von Oberflächen mikrosystemtechnischer Prüfobjekte kann aber nicht mehr mit dem üblichen Verfahren, der Randwinkelmessung, untersucht werden, da dieses nur bis zur Strukturgröße von etwa 500 µm angewendet werden kann. Es müssen deshalb Verfahren gefunden und qualifiziert werden, die zur Bestimmung von Hydrophilie oder Hydrophobie auch im Bereich von Strukturgrößen kleiner 500 µm geeignet sind. Da Hydrophilie und Hydrophobie mit der chemischen Zusammensetzung der Oberfläche korrelieren, kann das Problem mit einer quantitativen Bestimmung der relevanten chemischen Funktionalitäten an der Oberfläche gelöst werden. Dazu können die Methoden Photoelektronen-Spektroskopie und SekundärionenMassenspektrometrie eingesetzt werden, die derzeitig Strukturen von 15 µm bzw. 0,1 µm auflösen können. Es wird vorgeschlagen, das Problem der Bestimmung der Hydrophilie oder Hydrophobie mikroskopischer Oberflächenbereiche von mikrotechnisch hergestellten Polymerbauteilen aus Polycarbonat und Polymethylmethacrylat durch Bestimmung der chemischen Funktionsgruppen mit der Photoelektronen-Spektroskopie und der Sekundärionen-Massenspektrometrie zu lösen. Die beiden Messverfahren sollen mit Hilfe von Referenzproben kalibriert werden, an denen die Hydrophilie mit der in der "Makrowelt" etablierten Methode, der Berechnung der Oberflächenspannung aus Randwinkelmessungen, bestimmt worden ist. Auf diese Weise kann ein Maßstab aus der Makrowelt in die Mikratechnologie übertragen werden. Die Messunsicherheit des Verfahrens wird nach dem Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement (GUM) bestimmt. Die Lösung des Problems der Bestimmung der Hydrophilie (oder Hydrophobie) mikroskopischer Oberflächenbereiche von mikrotechnisch hergestellten Bauteilen eröffnet neue Wege, diese Eigenschaft zu kontrollieren und die Qualität der Bauteile im Fertigungsprozess zu steigern und zu sichern.