Investigation of the effect of hydrogen on gallium oxide growth by comparison of growth using completely non-hydrogen system and hydrogen system

通过比较完全无氢系统和氢气系统的生长来研究氢对氧化镓生长的影响

• 批准号: 16K04944
• 负责人: Togashi Rie
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Sophia University (2018)Tokyo University of Agriculture and Technology (2016-2017)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K04944/
• 关键词: 結晶工学; 結晶成長; エピタキシャル成長; ハライド気相成長; 熱力学解析; 酸化ガリウム; ワイドギャップ半導体; HVPE法; β型酸化ガリウム; エピタキシャル

项目成果

HVPE法を用いたIn2O3成長における成長速度の影響

使用 HVPE 方法生长速率对 In2O3 生长的影响

• 发表时间: 2017
• 作者: Takayuki Suga;Shiyu Numata;Rie Togashi;Hisashi Murakami;Bo Monemar;and Yoshinao Kumagai;小西敬太，後藤健，富樫理恵，村上尚，東脇正高，倉又朗人，山腰茂伸，Bo Monemar，熊谷義直;中畑秀利，須賀隆之，小西敬太，富樫理恵，村上尚，Plamen P. Paskov，Bo Monemar，熊谷義直;須賀隆之，中畑秀利，小西敬太，富樫理恵，村上尚，Plamen P. Paskov，Bo Monemar，熊谷義直
• 通讯作者: 須賀隆之，中畑秀利，小西敬太，富樫理恵，村上尚，Plamen P. Paskov，Bo Monemar，熊谷義直

IFM, Linkoping University(Sweden)

IFM，林雪平大学（瑞典）

IFM, Linkoping University(スウェーデン)

IFM，林雪平大学（瑞典）

異なる酸素源を用いた酸化ガリウムハライド気相成長の比較

使用不同氧源气相生长卤氧化镓的比较

• 发表时间: 2017
• 作者: Takayuki Suga;Shiyu Numata;Rie Togashi;Hisashi Murakami;Bo Monemar;and Yoshinao Kumagai;小西敬太，後藤健，富樫理恵，村上尚，東脇正高，倉又朗人，山腰茂伸，Bo Monemar，熊谷義直
• 通讯作者: 小西敬太，後藤健，富樫理恵，村上尚，東脇正高，倉又朗人，山腰茂伸，Bo Monemar，熊谷義直

c面sapphire基板上c-In2O3のHVPE成長における成長速度の影響

生长速率对c-In2O3在c面蓝宝石衬底上HVPE生长的影响

• 发表时间: 2017
• 作者: K. Konishi;K. Goto;R. Togashi;H. Murakami;M. Higashiwaki;A. Kuramata;S. Yamakoshi;B. Monemar;and Y. Kumagai;長井研太，須賀隆之，中畑秀利，小西敬太，富樫理恵，村上尚，Plamen P. Paskov，Bo Monemar，熊谷義直
• 通讯作者: 長井研太，須賀隆之，中畑秀利，小西敬太，富樫理恵，村上尚，Plamen P. Paskov，Bo Monemar，熊谷義直