Study on 3 Dimension Trajectory and Size Measurment of Each Operating Particle in Nano-Scale Processing Phenomena
Study on 3 Dimension Trajectory and Size Measurment of Each Operating Particle in Nano-Scale Processing Phenomena
纳米加工现象中各运行粒子的三维轨迹及尺寸测量研究
批准号：
16K06015
负责人：
Khajornrungruang Panart
金额：
$3.0万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
登录
查看更多内容
二波長エバネッセント光を用いた実時間三次元計測法に関する研究（ナノ粒子の散乱光強度検出装置の設計）
双波长倏逝光实时三维测量研究（纳米粒子散射光强检测装置设计）
双波长倏逝光实时三维测量研究（纳米粒子散射光强检测装置设计）
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[○竹元亨, ◎カチョーンルンルアン パナート, 白川裕晃，カチョーンルンルアン パナート，鈴木恵友]
通讯作者：
白川裕晃，カチョーンルンルアン パナート，鈴木恵友
FDTD法によるガラス表面近傍における移動 ナノ粒子の光散乱特性解析
使用 FDTD 方法分析玻璃表面附近移动的纳米粒子的光散射特性
使用 FDTD 方法分析玻璃表面附近移动的纳米粒子的光散射特性
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[ブラドラー・アラン, カチョーンルンルアン・パナート, 鈴木恵友, パームパッデーチャークン・ティティパット, ○平佳那子， ◎カチョーンルンルアンパナート，鈴木恵介， 荒牧弘親]
通讯作者：
○平佳那子， ◎カチョーンルンルアンパナート，鈴木恵介， 荒牧弘親
In situ measurement method for film thickness using transparency resin sheet with low refractive index under wet condition on chemical mechanical polishing
化学机械抛光湿法低折射率透明树脂片膜厚原位测量方法
化学机械抛光湿法低折射率透明树脂片膜厚原位测量方法
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
Japanese journal of applied physics (JJAP).
影响因子：
--
作者：
[Takahiro Oniki, Panart Khajornrungruang, and Keisuke Suzuki]
通讯作者：
and Keisuke Suzuki
Study on On-Machine Visualization of Surface Processing Phenomena in Nanoscale -5th report: Investigation on 3D Motion of Standard Particle-
纳米尺度表面加工现象机上可视化研究-第五次报告：标准粒子3D运动研究-
纳米尺度表面加工现象机上可视化研究-第五次报告：标准粒子3D运动研究-
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[ブラドラー・アラン, カチョーンルンルアン・パナート, 鈴木恵友, パームパッデーチャークン・ティティパット]
通讯作者：
パームパッデーチャークン・ティティパット
ナノスケール被加工表面上におけるナノ粒子の三次元挙動観測法に関する研究
纳米粒子在纳米级加工表面三维行为观察方法研究
纳米粒子在纳米级加工表面三维行为观察方法研究
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[カチョーンルンルアン パナート, 白川裕晃，ブラッドラー アラン，竹元亨，鈴木恵友]
通讯作者：
白川裕晃，ブラッドラー アラン，竹元亨，鈴木恵友
共 19 条
海外基金