Study on 3 Dimension Trajectory and Size Measurment of Each Operating Particle in Nano-Scale Processing Phenomena

纳米加工现象中各运行粒子的三维轨迹及尺寸测量研究

• 批准号: 16K06015
• 负责人: Khajornrungruang Panart
• 金额: $ 3万
• 依托单位: Kyushu Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K06015/
• 关键词: ナノ粒子; 散乱光; 可視化; エバネッセント光; 全反射顕微鏡法; ブラウン運動; 三次元位置計測; 多波長; 全反射顕微鏡; 三次元; 3次元; ポリシング; 加工現象; レーザ; 計測; 粒径; CMP; 機械工作・生産工学; 超精密計測; 精密研磨; １分子計測(SMD)

项目成果

二波長エバネッセント光を用いた実時間三次元計測法に関する研究（ナノ粒子の散乱光強度検出装置の設計）

双波长倏逝光实时三维测量研究（纳米粒子散射光强检测装置设计）

• 发表时间: 2016
• 作者: ○竹元亨;◎カチョーンルンルアン パナート;白川裕晃，カチョーンルンルアン パナート，鈴木恵友
• 通讯作者: 白川裕晃，カチョーンルンルアン パナート，鈴木恵友

FDTD法によるガラス表面近傍における移動 ナノ粒子の光散乱特性解析

使用 FDTD 方法分析玻璃表面附近移动的纳米粒子的光散射特性

• 发表时间: 2019
• 作者: ブラドラー・アラン;カチョーンルンルアン・パナート;鈴木恵友;パームパッデーチャークン・ティティパット;○平佳那子， ◎カチョーンルンルアンパナート，鈴木恵介， 荒牧弘親
• 通讯作者: ○平佳那子， ◎カチョーンルンルアンパナート，鈴木恵介， 荒牧弘親

In situ measurement method for film thickness using transparency resin sheet with low refractive index under wet condition on chemical mechanical polishing

化学机械抛光湿法低折射率透明树脂片膜厚原位测量方法

• 发表时间: 2017
• 期刊: Japanese journal of applied physics (JJAP).
• 作者: Takahiro Oniki;Panart Khajornrungruang;and Keisuke Suzuki
• 通讯作者: and Keisuke Suzuki

Study on On-Machine Visualization of Surface Processing Phenomena in Nanoscale -5th report: Investigation on 3D Motion of Standard Particle-

纳米尺度表面加工现象机上可视化研究-第五次报告：标准粒子3D运动研究-

• 发表时间: 2019
• 作者: ブラドラー・アラン;カチョーンルンルアン・パナート;鈴木恵友;パームパッデーチャークン・ティティパット
• 通讯作者: パームパッデーチャークン・ティティパット

ナノスケール被加工表面上におけるナノ粒子の三次元挙動観測法に関する研究

纳米粒子在纳米级加工表面三维行为观察方法研究

• 发表时间: 2018
• 作者: カチョーンルンルアン パナート;白川裕晃，ブラッドラー アラン，竹元亨，鈴木恵友
• 通讯作者: 白川裕晃，ブラッドラー アラン，竹元亨，鈴木恵友