Development of crystal-grain enlarging process for ultra-fine Cu wiring by strain-energy driving

应变能驱动超细铜布线晶粒放大工艺的开发

基本信息

  • 批准号:
    16K06793
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.66万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2016
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2016-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Nano-Structure-Controlled Very Low Resistivity Cu Wires Formed by High Purity and Optimized Additives
由高纯度和优化添加剂形成的纳米结构控制的极低电阻率铜线
  • DOI:
    10.1109/jeds.2018.2808494
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    2.3
  • 作者:
    Onuki Jin;Tamahashi Kunihiro;Inami Takashi;Nagano Takatoshi;Sasajima Yasushi;Ikeda Shuji
  • 通讯作者:
    Ikeda Shuji
銅極細配線における粒成長を阻害する不純物効果のフェーズフィールドシミュレーション
抑制超细铜互连中晶粒生长的杂质效应的相场模拟
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    伊藤菜々子;渡辺宏紀;稲葉知大;尾花望;宮野泰征;野村暢彦;篠嶋 妥,大貫 仁
  • 通讯作者:
    篠嶋 妥,大貫 仁
Grain Coarsening Mechanism of Cu Confined in Ultra-fine Wire
超细丝中Cu的晶粒粗化机理
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yasushi Sasajima ;Takatoshi Nagano and Jin Onuki
  • 通讯作者:
    Takatoshi Nagano and Jin Onuki
Effects of Electroplating at Lower Leveler and Suppressor Contents on the Formation of Very Low Resistivity Narrow Cu Interconnects
较低整平剂和抑制剂含量的电镀对极低电阻率窄铜互连形成的影响
  • DOI:
    10.1149/2.0991904jes
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3.9
  • 作者:
    Miyamoto Ryo;Tamahashi Kunihiro;Inami Takashi;Sasajima Yasushi;Onuki Jin
  • 通讯作者:
    Onuki Jin
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

SASAJIMA Yasushi其他文献

SASAJIMA Yasushi的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了