Development of crystal-grain enlarging process for ultra-fine Cu wiring by strain-energy driving
应变能驱动超细铜布线晶粒放大工艺的开发
基本信息
- 批准号:16K06793
- 负责人:
- 金额:$ 2.66万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2016
- 资助国家:日本
- 起止时间:2016-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
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会议论文数量(0)
专利数量(0)
Nano-Structure-Controlled Very Low Resistivity Cu Wires Formed by High Purity and Optimized Additives
由高纯度和优化添加剂形成的纳米结构控制的极低电阻率铜线
- DOI:10.1109/jeds.2018.2808494
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:2.3
- 作者:Onuki Jin;Tamahashi Kunihiro;Inami Takashi;Nagano Takatoshi;Sasajima Yasushi;Ikeda Shuji
- 通讯作者:Ikeda Shuji
銅極細配線における粒成長を阻害する不純物効果のフェーズフィールドシミュレーション
抑制超细铜互连中晶粒生长的杂质效应的相场模拟
- DOI:
- 发表时间:2017
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:伊藤菜々子;渡辺宏紀;稲葉知大;尾花望;宮野泰征;野村暢彦;篠嶋 妥,大貫 仁
- 通讯作者:篠嶋 妥,大貫 仁
Grain Coarsening Mechanism of Cu Confined in Ultra-fine Wire
超细丝中Cu的晶粒粗化机理
- DOI:
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Yasushi Sasajima ;Takatoshi Nagano and Jin Onuki
- 通讯作者:Takatoshi Nagano and Jin Onuki
Effects of Electroplating at Lower Leveler and Suppressor Contents on the Formation of Very Low Resistivity Narrow Cu Interconnects
较低整平剂和抑制剂含量的电镀对极低电阻率窄铜互连形成的影响
- DOI:10.1149/2.0991904jes
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:3.9
- 作者:Miyamoto Ryo;Tamahashi Kunihiro;Inami Takashi;Sasajima Yasushi;Onuki Jin
- 通讯作者:Onuki Jin
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